[发明专利]优化硅片中芯片布局的方法和装置有效
申请号: | 200810114345.4 | 申请日: | 2008-06-04 |
公开(公告)号: | CN101315647A | 公开(公告)日: | 2008-12-03 |
发明(设计)人: | 闻正锋 | 申请(专利权)人: | 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 |
主分类号: | G06F17/50 | 分类号: | G06F17/50 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人: | 蒋雅洁;张瑾 |
地址: | 100871北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 优化 硅片 芯片 布局 方法 装置 | ||
1.一种优化硅片中芯片布局的方法,其特征在于,包括:
获取硅片的布局参数,所述布局参数包括所述硅片的洗边宽度、平边高度 和大平边长度;
根据所获取的布局参数生成硅片曝光场布局图,并根据输入的偏移量对所 述硅片曝光场布局图的位置进行微调;
根据所生成的硅片曝光场布局图对所述硅片进行芯片的布局。
2.根据权利要求1所述优化硅片中芯片布局的方法,其特征在于,所述输 入偏移量的模式为默认模式、自定义模式和最优化模式的其中一种。
3.根据权利要求1或2所述优化硅片中芯片布局的方法,其特征在于,所 述根据所获取的布局参数生成硅片曝光场布局图进一步包括:根据相同的所述 布局参数的值所生成的硅片曝光场布局图相同,根据不同的所述布局参数的值 所生成的硅片曝光场布局图不相同。
4.根据权利要求1或2所述优化硅片中芯片布局的方法,其特征在于,所 述生成硅片曝光场布局图之后,该方法还包括:将所述硅片曝光场布局图与界 面背景的芯片划分区域进行对比,获取所述硅片中的芯片总数。
5.根据权利要求4所述优化硅片中芯片布局的方法,其特征在于,所述获 取硅片中的芯片总数进一步包括:根据相同的硅片曝光场布局图所获取的芯片 总数相同,根据不同的硅片曝光场布局图所获取的芯片总数相同或不相同。
6.一种优化硅片中芯片布局的装置,其特征在于,包括:参数获取模块、 布局图生成模块和芯片布局模块;其中,
所述参数获取模块,用于获取硅片的布局参数提供给所述布局图生成模块, 所述布局参数包括所述硅片的洗边宽度、平边高度和大平边长度;
所述布局图生成模块,用于根据所获取的布局参数生成硅片曝光场布局图;
所述芯片布局模块,用于根据所生成的硅片曝光场布局图对所述硅片进行 芯片的布局;以及
微调模块,用于根据输入的偏移量对所述硅片曝光场布局图的位置进行微 调。
7.根据权利要求6所述优化硅片中芯片布局的装置,其特征在于,所述输 入偏移量的模式为默认模式、自定义模式和最优化模式的其中一种。
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