[发明专利]一种无金属底托的环状真空吸气元件的制备方法有效

专利信息
申请号: 200810114587.3 申请日: 2008-06-06
公开(公告)号: CN101295612A 公开(公告)日: 2008-10-29
发明(设计)人: 尉秀英;秦光荣;张艳;李腾飞;杜军;毛昌辉;苑鹏;熊玉华 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院
主分类号: H01J9/39 分类号: H01J9/39;H01J9/38;H01J7/18
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 代理人: 朱琨
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 金属 环状 真空 吸气 元件 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种无金属底托的环状真空吸气元件的制备方法,其特征在于,制备工艺为:首先在1000ml无水乙醇中溶解20~50g加拿大胶制备成粘结剂溶液,以粒度为43μm的吸气剂粉末与粘结剂按体积比为7∶3~9∶1的比例,将上述粘结剂溶解液慢慢加入到吸气剂粉末中混至均匀,并制成不同粒度组成的吸气剂球形颗粒;所述吸气剂球形颗粒粒度组成,按体积比,其粒径组成分布分别为310μm占10~20%,254μm占20~25%,210μm占20~30%,127μm占20~35%,106μm占10~25%,将制备的球形颗粒经烘干后,在环形模具中加压,压制成环状坯件,将此环状坯件在真空状态下去除粘结剂,最后将去除粘结剂的环状坯件在真空炉中进行高温烧结,降温出炉后便制得无金属底托环状吸气元件。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述吸气剂球形颗粒在Ar保护下于40℃温度烘烤3h进行烘干。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述吸气剂球形颗粒在环形模具中加压成型压制成环状坯件,成型压力为0.8~2.5T/cm2

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述环状坯件,在真空状态下去除粘结剂,真空度为5×10-3pa,温度为650℃,保温30分钟。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述环状坯件去除粘结剂后在真空炉中进行高温烧结,真空度为5×10-4pa,烧结温度为1050℃,保温20分钟。

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