[发明专利]电子束－离子束微纳米加工组合系统无效
| 申请号： | 200810116424.9 | 申请日： | 2008-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101301994A | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 王荣明;崔益民;孙倩;李文萍;姚骏恩 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | B82B3/00 | 分类号： | B82B3/00;H01J37/26;H01J37/252 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 离子束 纳米 加工 组合 系统 | ||
1、一种电子束-离子束微纳米加工组合系统，包括有扫描电子显微镜(1)、聚焦离子束装置(2)，其特征在于：还包括有法兰(4)，法兰(4)安装在扫描电子显微镜(1)的反应室(1a)的斜面(1b)上，聚焦离子束装置(2)的离子枪安装在法兰(4)的通孔(401)中；
扫描电子显微镜(1)的反应室(1a)上切出一斜面(1b)，斜面(1b)上开有A通孔(1c)，A通孔(1c)用于聚焦离子束装置(2)的离子枪(21)通过，且保持离子枪(21)出射的离子束(22)垂直于样品台(13)；
法兰(4)为一体加工成型件，法兰(4)沿中心轴线开有通孔(401)，法兰(4)的一端为连接头(403)，法兰(4)的另一端为圆环(405)；连接头(403)的安装面(402)上设有凹槽(408)、A螺纹孔(409)，凹槽(408)内放置密封垫圈，连接头(403)的顶面(410)中心设有B螺纹孔(404)；圆环(405)的环体(411)上设有B通孔(406)，圆环(405)的环面(412)上设有C螺纹孔(407)。
2、根据权利要求1所述的电子束-离子束微纳米加工组合系统，其特征在于：采用法兰(4)将扫描电子显微镜(1)与聚焦离子束装置(2)进行组合，实现一体化设计，减小了为镜筒配重所作的复杂机械设计。
3、根据权利要求1所述的电子束-离子束微纳米加工组合系统，其特征在于：样品台(13)与水平面的夹角β小于等于30°。
4、根据权利要求1所述的电子束-离子束微纳米加工组合系统，其特征在于：扫描电子显微镜(1)中的计算机(3)能够分别执行电子束、离子束操作以及对处理结果输出的处理，也能够进行组合操作。
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