[发明专利]一种微束微区X射线探针分析仪

权利要求书

1.一种微束微区X射线探针分析仪，采用了X光管与聚焦毛细管的方式产生X射线对待检测样品微区进行特征X射线激发，其特征在于，所述分析仪主要包括：电子微动测量平台，XRF能谱仪，多轴步进电机驱动器及多轴运动控制器、PC上位机软件系统与电源系统，其中

电子微动测量平台，用于对样品微区进行定位，并获取样品微区图像信息；

电子微动测量平台包括：三个步进电动机驱动、微动台、CCD相机、X光管、X射线探测器及激光探测器，其中，三个步进电动机驱动，实现微动台的三维运动；CCD相机，设置有环形排列的白光LED光源，且由CCD相机步进电动机驱动控制所述CCD相机进行垂直方向自由度的运动；X光管，包括一聚焦毛细管与一激光发射器，且所述聚焦毛细管与激光发射器设置为一体，并通过X光管步进电动机驱动控制所述X光管倾斜角度上的运动；X射线探测器及激光探测器，其X射线探测器及激光探测器设置为一体，并通过X射线探测器及激光探测器步进电动机驱动控制所述X射线探测器及激光探测器进行倾斜角度上的运动；

XRF能谱仪，接收来自电子微动测量平台表面样品的被X光管激发后的特征X射线，实现样品的X射线检测，并形成X能谱，然后将能谱曲线发送到PC机；

多轴步进电机驱动器及多轴运动控制器实现对多个步进电机的精确运动控制及驱动；

PC上位机软件系统，通过USB端口发送控制命令，控制多个步进电机的运动，控制图像信息的获取与处理，并对测量得到的谱线进行分析，将分析结果存储。

2.根据权利要求1所述的微束微区X射线探针分析仪，其特征在于，所述多轴运动控制器，用于接收PC上位机软件系统中传送出的控制指令，同时将指令转化为多轴步进电机驱动器所能接受的细分脉冲；

多轴步进电机驱动器，根据接收到的细分脉冲对多个步进电机进行细分驱动，以实现微步运动；

电源系统，为电子微动测量平台、XRF能谱仪、多轴运动控制器及多轴步进电机驱动器进行供电并排除外界的干扰。

3.根据权利要求1所述的微束微区X射线探针分析仪，其特征在于，所述PC上位机软件系统还包括：XRF能谱测量软件、图像采集与处理软件及主控软件，所述

XRF能谱测量软件，将XRF能谱仪发送来的谱线进行分析，并得到相应的元素含量分析结果；

图像采集与处理软件，对电子微动测量平台中CCD相机发送的图像进行采集与处理，同时将用户定位的样品微区进行拍照存档；

主控软件，用于对多轴运动控制器的控制和XRF能谱仪的控制，并将控制指令发送到多轴运动控制器中。