[发明专利]一种电容式水平轴微机械音叉陀螺

权利要求书

1.一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：它包括衬底，锚点，检测折叠梁，框架，驱动折叠梁，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容；所述驱动梳齿电容和检测梳齿电容分别包括可动电极和固定电极；

所述锚点，检测折叠梁，框架，检测质量块，驱动梳齿电容及检测梳齿电容相对于陀螺X、Y轴对称分布；所述驱动梳齿电容的可动电极与所述检测质量块固定连接，所述检测质量块通过所述驱动折叠梁与所述框架连接，所述检测梳齿电容的可动电极与所述框架连接，所述框架通过所述检测折叠梁与所述锚点连接，所述锚点固定连接在所述衬底上；所述驱动梳齿电容的固定电极和所述检测梳齿电容的固定电极通过各自的锚点固定连接在所述衬底上；

当系统有Y轴方向角速度输入时，设置在所述Y轴两边的检测质量块通过所述驱动折叠梁和框架带动所述检测梳齿电容的可动电极作离面扭摆运动，通过左右检测梳齿电容的差分信号获得输入的角速度信息。

2.如权利要求1所述的一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述检测梳齿电容采用双端不等高结构，所述可动部分和固定部分厚度一致。

3.如权利要求2所述的一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述框架左、右两侧中部的检测梳齿电容的可动梳齿双端高于对应的所述固定梳齿的双端，所述两中部检测梳齿电容上、下两端梳齿电容的可动梳齿双端低于对应的所述固定梳齿的双端。

4.如权利要求2所述的一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述框架左、右两侧中部的检测梳齿电容的可动梳齿双端低于对应的所述固定梳齿双端，所述两中部检测梳齿电容上、下两端的梳齿电容的可动梳齿双端高于对应的所述固定梳齿双端。

5.如权利要求3或4所述一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述检测梳齿电容闭环检测时，所述左、右两侧中部的检测梳齿电容作为检测电容，所述中部检测梳齿电容上、下两端的梳齿电容作为施力反馈电容。

6.如权利要求3或4所述一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述检测梳齿电容闭环检测时，所述左、右两侧中部的检测梳齿电容作为施力反馈电容，所述中部检测梳齿电容上、下两端的梳齿电容作为检测电容。

7.如权利要求1或2或3或4所述一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述检测折叠梁为弯曲变形梁、扭转变形梁和弯扭组合梁中的一种。

8.如权利要求5所述一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述检测折叠梁为弯曲变形梁、扭转变形梁和弯扭组合梁中的一种。

9.如权利要求6所述一种电容式水平轴微机械音叉陀螺，其特征在于：所述检测折叠梁为弯曲变形梁、扭转变形梁和弯扭组合梁中的一种。