[发明专利]匹配方法及应用该匹配方法的等离子体装置

权利要求书

1.一种匹配方法，包括多个匹配周期，每个匹配周期中检测一次负载阻抗的值，并 根据检测的结果进行阻抗匹配，其特征在于，在等离子体阻抗匹配的过程中，首先检测每 个匹配周期与前一个匹配周期中所述阻抗的差值；

然后，对多个所述阻抗的差值进行比较，当所述阻抗的差值出现突变时，认为该差值 所在的匹配周期等离子体开始起辉，即进入等离子体的起辉带；

之后，采用相应的控制方法，控制所述阻抗匹配在所述起辉带内进行。

2.根据权利要求1所述的匹配方法，其特征在于，所述阻抗的差值指以下差值中的一 项或多项：所述阻抗的实部的差值、虚部的差值、模值的差值、幅角的差值；

所述突变指所述阻抗的差值出现突变时的值大于未突变时的值的10倍或10倍以上。

3.根据权利要求2所述的匹配方法，其特征在于，所述阻抗的实部的差值突变时的值 与未突变时的值的比值大于或等于24。

4.根据权利要求2所述的匹配方法，其特征在于，所述阻抗的虚部的差值突变时的值 与未突变时的值的比值大于或等于16。

5.根据权利要求1所述的匹配方法，其特征在于，所述阻抗匹配通过调整可变阻抗元 件实现。

6.根据权利要求5所述的匹配方法，其特征在于，所述可变阻抗元件为电容。

7.根据权利要求6所述的匹配方法，其特征在于，控制所述阻抗匹配在所述起辉带内 进行的方法包括：

在得到所述等离子体开始起辉的匹配周期之后，记录该匹配周期中所述电容的调整位 置，然后自该位置开始，控制所述电容在所述起辉带内进行调整。

8.一种等离子体装置，包括能量发生装置、匹配器、反应腔室，其特征在于，所述 匹配器采用权利要求1至7任一项所述的匹配方法进行阻抗匹配；

所述匹配器包括传感器、控制器、执行机构，每个匹配周期中，所述传感器采集一次 射频传输线的电压和电流信息并将该信息输入给所述控制器；

所述控制器根据接收到的所述电压和电流信息计算每个匹配周期中的负载阻抗，并计 算每个匹配周期与前一个匹配周期中所述负载阻抗的差值，然后对多个所述负载阻抗的差 值进行比较，得到等离子体的起辉带；

之后，所述匹配器在所述起辉带内进行阻抗匹配。