[发明专利]灰尘清洁装置和方法

说明书

技术领域

本发明涉及灰尘清洁技术，尤其涉及检测和清除灰尘的装置和方法。

背景技术

LCD(液晶显示器)技术在近十年有了飞速地发展，从屏幕尺寸到显示质量都取得了很大进步。目前LCD各方面的性能已经达到了传统CRT(纯平显示器)的水平，并且越来越多的使用中正在取代CRT。

洁净室是LCD、半导体、制药等对洁净度要求较高的工业生产所必需的生产场所，而且洁净度的高低直接影响到所生产产品的质量。因此，经济合理地提高洁净室的清洁程度是各个厂家都十分关注的问题，因其直接影响到产品的质量。重要设备或重要装置的洁净度是目前各厂商普遍努力的主要方向。

在近几年中，对于精密装置洁净度的检测主要是通过肉眼检测或结合光照的肉眼检测实现的，清洁主要是通过在发现灰尘后移开光照设备，再利用气枪在发现灰尘的大致位置吹气，将灰尘吹走。在这个过程中由于将光照检测与吹气清洁分开进行，再次确认是否相同位置的灰尘被吹走，比较困难。就算将光照设备一直对准发现灰尘的位置，并同时进行吹气，受光照设备和吹气设备体积的限制，吹气方向与光照方向不一致，无法监控被吹走的灰尘的去向，可能引发由于灰尘被吹至精密部件的其他位置而引发的不良。例如，将掩膜板上某个位置的灰尘吹至掩膜板的其它位置，而导致在与原来发生不良的位置不同但形貌类似的缺陷发生。

发明内容

本发明提供一种灰尘清洁装置，能够沿光线照射的方向清除灰尘。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种灰尘清洁装置，包括：

输出端并列设置的至少一根光纤和至少一根第一导气管；

与所述光纤的输入端连接的光源；

与所述第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。

本发明灰尘清洁装置通过将多根光纤和第一导气管的输出端进行并列设置，并将光纤的输入端连接到光源，第一导气管的输入端连接到压缩气体发生器，实现了在发现灰尘的同时能够沿光线的方向把灰尘清除。

本发明提供一种灰尘清洁方法，能够沿光线照射的方向清除灰尘。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种灰尘清洁方法，包括：利用光线检测灰尘；在检测到灰尘时，沿所述光线的方向喷出气体将灰尘清除。

本发明灰尘清洁方法通过在检测到灰尘的同时，沿光线的方向喷出气体把灰尘清除，实现了在发现灰尘的同时能够沿光线的方向把灰尘清除。

附图说明

图1为本发明实施例灰尘清洁装置的示意图；

图2为本发明实施例光纤和第一导气管环状排列示意图；

图3为本发明实施例光纤和第一导气管扇形排列方式示意图；

图4为本发明实施例光纤输出端口的示意图；

图5为本发明实施例灰尘清洁方法的流程图。

具体实施方式

本发明提供一种灰尘清洁装置和方法，能够沿光线照射的方向清除灰尘。下面结合附图对本发明实施例灰尘清洁装置和方法进行详细描述。应当明确，以下实施例仅用于说明本发明，而不用于限定本发明的保护范围。

如图1所示，本发明实施例灰尘清洁装置，包括：

输出端并列设置的至少一根光纤100和至少一根第一导气管200；

与所述光纤100的输入端连接的光源300；

与所述第一导气管200的输入端连接的压缩气体发生器400。

本发明实施例灰尘清洁装置通过将多根光纤和第一导气管的输出端进行并列设置，并将光纤的输入端连接到光源，第一导气管的输入端连接到压缩气体发生器，实现了在发现灰尘的同时能够沿光线的方向把灰尘清除。

本发明优选采用灯箱作为光源。本发明优选在所述光纤100和第一导气管200的输出端外设置管壳500，管壳500将所有的光纤100和第一导气管200的输出端包覆于其中，并且所有的光纤100和第一导气管200在所述管壳500的横截面上以间隔方式分布。如图2所示，为了实现较好的除尘效果，本发明优选将光纤100和第一导气管200的输出端在所述管壳500的横截面内呈环状排列且间隔布置。但本发明并不局限于此，如图3所示，所述光纤100和第一导气管200的输出端还能够在所述管壳500的横截面内呈扇形排列且间隔布置或时其他布置方式。图2和图3所示为本发明光纤100和第一导气管200的排列方式的两个较佳实施例。