[发明专利]具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外腔面发射激光器

权利要求书

1.一种具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外腔面发射激光器， 其特征在于，包括：

一铜热沉，该铜热沉上开有一凹槽；

一透明热沉，该透明热沉的上表面蒸镀有增透膜；

一外延片，该外延片采用液体吸附的方法与透明热沉的下表面连接， 将连接后透明热沉和外延片通过焊料与铜热沉固定连接，使外延片容置在 凹槽内；

该外延片包括：

一衬底；

多层布拉格反射镜，该多层布拉格反射镜制作在衬底上；

多个周期的有源区，该多个周期的有源区制作在多层布拉格反射镜的 上面；

一窗口层，该窗口层制作在多个周期的有源区的上面；

该多个周期的有源区中的一个周期的有源区包括：

一量子阱层，包含1-3个量子阱；

两势垒吸收层，该两势垒吸收层分别制作在量子阱层的上下面，该势 垒吸收层的带隙向量子阱方向梯度减小；

两势垒限制层，该两势垒限制层分别制作在两势垒吸收层的表面；

一泵浦光源，该泵浦光源与轴线成一定的角度置于透明热沉上表面的 一侧；

一外腔镜，该外腔镜位于透明热沉上面的轴线处，该外腔镜的凹面镀 有反射膜。

2.根据权利要求1所述的具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外 腔面发射激光器，其特征在于，其中还包括一微通道散热片，该微通道散 热片固接在铜热沉的下面。

3.根据权利要求1所述的具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外 腔面发射激光器，其特征在于，其中，所述多层布拉格反射镜为重复交替 地堆叠的具有不同折射率的两种半导体层，每个半导体层的光学厚度为该 激光器发射波长的四分之一。

4.根据权利要求1所述的具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外 腔面发射激光器，其特征在于，其中，所述有源区为5-15个周期。

5.根据权利要求1所述的具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外 腔面发射激光器，其特征在于，其中，所述有源区为InGaAs/AlGaAs或 InGaAsP/InP材料。

6.根据权利要求1所述的具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外 腔面发射激光器，其特征在于，其中，所述透明热沉采用金刚石或SiC或 蓝宝石。

7.根据权利要求1-6任一项所述的具有梯度带隙势垒吸收层的光泵 浦垂直外腔面发射激光器，其特征在于，所述激光器还包括一倍频晶体， 该倍频晶体位于所述外腔镜和所述透明热沉之间。

8.根据权利要求7所述的具有梯度带隙势垒吸收层的光泵浦垂直外 腔面发射激光器，其特征在于，其中反射膜对基频光具有反射率，对倍频 光具有透过率。