[发明专利]用于哈特曼波前探测器的基于DFT的质心偏移量检测方法有效
申请号: | 200810119122.7 | 申请日: | 2008-08-27 |
公开(公告)号: | CN101339004A | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
发明(设计)人: | 魏凌;姚平;王海英;刘进舟;魏凯;饶长辉;饶学军;张雨东 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G02B26/06 |
代理公司: | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人: | 贾玉忠;卢纪 |
地址: | 61020*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 哈特曼波前 探测器 基于 dft 质心 偏移 检测 方法 | ||
1.用于哈特曼波前探测器的基于DFT的质心偏移量检测方法,其核心是基于DFT的质心偏移量方法,该方法的流程为:
(1)将标准平面波入射到子孔径单元为M×M的哈特曼波前探测器上获取的参考全靶面图像,取其中某一要检测质心偏移量的子孔径所对应的图像,即分辨率为N×N的参考图像IC,其中M,N均为整数;
(2)将分辨率均为N×N的IC的像素点的灰度值分别在两个待检测的方向:X方向和Y方向叠加,得到两个1×N的向量Icx和Icy:
(3)对此两向量Icx和Icy分别作DFT,得到两个1×N的向量Fcx和Fcy:
(4)分别计算Fcx和Fcy各分量的相位,得到两个1×N的向量Cx和Cy,即参考图像的相位向量,这样,对参考图像的处理完成;
(5)将待检测波面入射到该哈特曼波前探测器上获取待检测全靶面图像,取其中与参考图像相同子孔径所对应的图像,即分辨率为N×N的待检测的图像ID;
(6)同对参考图像的处理一样,先将待检测的图像ID的像素点的灰度值分别在两个待检测的方向:X方向和Y方向叠加,得到两个1×N的向量Idx和Idy:
(7)对此两向量Idx和Idy分别作DFT,得到两个1×N的向量Fdx和Fdy:
(8)分别计算Fdx和Fdy各分量的相位,得到两个1×N的向量Dx和Dy,即待检测图像的相位向量;
(9)分别计算Dx与Dy及Cx与Cy的各分量的相位差,得到两个1×N的向量DDx和DDy:
(10)分别对DDx和DDy解卷绕,得到DDx’和DDy’;
(11)分别对DDx’和DDy’的前T项,进行一次拟合,得到斜率kx和ky,得待检测图像的质心与参考图像的质心在x和y方向的相对偏移量dx,dy分别为
(12)重复(1)到(11),对子孔径单元为M×M的哈特曼波前探测器的其它子孔径进行相同的处理,得到所有重构波前所需的子孔径在x和y方向的偏移量。
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