[发明专利]平板加热器及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种平板加热器，包括主支撑、加热板，所述主支撑支撑于所述加热板的中部，其特征在于，所述加热板的边缘部位与所述主支撑之间连接有辅助支撑；

所述辅助支撑设有长度调节装置，所述长度调节装置包括一组连接件，所述一组连接件包括多件不同长度的连接件，可以根据需要选择其中一件需要长度的连接件连接于所述辅助支撑的一端。

2.根据权利要求1所述的平板加热器，其特征在于，所述辅助支撑包括多根柱状支撑。

3.根据权利要求2所述的平板加热器，其特征在于，所述柱状支撑有4根，所述4根柱状支撑的一端分别连接于所述加热板的4个角部。

4.根据权利要求2所述的平板加热器，其特征在于，所述柱状支撑有8根，所述8根柱状支撑中，4根柱状支撑的一端分别连接于所述加热板的4个角部，另4根柱状支撑的一端分别连接于所述加热板的4条边部。

5.根据权利要求2所述的平板加热器，其特征在于，所述柱状支撑有6根，所述6根柱状支撑中，4根柱状支撑的一端分别连接于所述加热板的4个角部，另2根柱状支撑的一端分别连接于所述加热板的相对的2条边部。

6.根据权利要求1所述的平板加热器，其特征在于，所述辅助支撑为板状或圆锥状或棱锥状。

7.根据权利要求1所述的平板加热器，其特征在于，所述辅助支撑由导电材料制作，所述辅助支撑与所述主支撑之间及所述加热板之间通过铆钉或螺钉连接。

8.一种等离子体加工设备，包括工艺腔室，其特征在于，所述工艺腔室内设有权利要求1至7任一项所述的平板加热器。

9.根据权利要求8所述的等离子体加工设备，其特征在于，所述等离子体加工设备为等离子增强化学气相淀积设备。