[发明专利]复合式气体流量测量方法及其装置有效
申请号: | 200810120056.5 | 申请日: | 2008-07-17 |
公开(公告)号: | CN101354273A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 韩怀成;毛巨林 | 申请(专利权)人: | 美新半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | G01F7/00 | 分类号: | G01F7/00 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 214028江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 复合 气体 流量 测量方法 及其 装置 | ||
1.一种复合式气体流量测量方法,其特征是:在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管,旁路管上设有MEMS流量传感器,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统,数据处理系统连接数据显示系统,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的所测数据经过数据处理系统处理后通过数据显示系统显示出气体流量数据;数据处理系统对机械式气体流量测量装置的所测数据经过温度、压力补偿后与MEMS流量传感器的数据进行综合分析处理,气体流速较小时,以MEMS流量传感器的数据为准,气体流速较大时,以机械式气体流量测量装置的数据为准,在机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的量程重叠部分,根据气体流速大小对机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器的数据按比例加权后进行相加处理;当机械式气体流量测量装置无测量数据时,数据处理系统以MEMS流量传感器的数据为准,MEMS流量传感器无测量数据时,数据处理系统以机械式气体流量测量装置的数据为准,或者数据处理系统根据剩下的一路测量数据并按事先设定的加权曲线来确定最后的气体流量数据。
2.一种复合式气体流量测量装置,其特征是:在带温度传感器与压力传感器的机械式气体流量测量装置上并接旁路管,旁路管上设有MEMS流量传感器,温度传感器、压力传感器、机械式气体流量测量装置及MEMS流量传感器均连接数据处理系统,数据处理系统连接数据显示系统。
3.根据权利要求2所述的复合式气体流量测量装置,其特征在于所述旁路管的进口位于机械式气体流量测量装置的气流上游侧,旁路管的出口位于机械式气体流量测量装置的气流下游侧,旁路管的内径为2至10毫米。
4.根据权利要求3所述的复合式气体流量测量装置,其特征在于所述机械式气体流量测量装置的气流上游侧设有均速管总压取压孔,均速管的出口端与旁路管的进口相连接,旁路管的出口位于机械式气体流量测量装置的气流下游侧。
5.根据权利要求2或3或4所述的复合式气体流量测量装置,其特征在于所述的机械式气体流量测量装置为速度式、差压式气体体积流量测量装置。
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