[发明专利]纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备

权利要求书

1.一种纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，其特征在于：所述声悬浮抛光设备包括机架、脉冲电源、用于夹持待加工工件的夹具、超声换能器、用于存放抛光液的容器、超声反射端以及用于调整超声波反射端与超声换能器之间距离的调谐机构，所述超声换能器、容器以及调谐机构均安装在机架上，所述脉冲电源与所述超声换能器连接，所述容器位于所述超声换能器的下方，所述夹具位于所述容器的上方，所述夹具与带轮传动机构连接，所述超声波反射端位于容器下方，所述超声波反射端与所述超声换能器配合，所述超声反射端与所述调谐机构连接；声悬浮抛光设备由所述超声换能器驱动，以推挽方式工作，激发空气中的超声振动，超声换能器与超声波反射端之间的区域是悬浮区域，超声波反射端反射由超声换能器发射的超声波从而在悬浮区域形成驻波，通过所述调谐机构调节超声换能器与超声波反射端之间的距离，使声源与空气的涡合达到最佳，发生共振。

2.如权利要求1所述的纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，其特征在于：所述带轮传动机构包括第一带轮、传动带、第二带轮和驱动电机，所述第一带轮与所述夹具同轴连接，所述第一带轮通过传动带与第二带轮连接，所述第二带轮的转轴与所述驱动电机的输出轴联接。

3.如权利要求1或2所述的纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，其特征在于：所述调谐机构包括导轨、滑块和微调按钮，所述导轨安装在机架上，所述超声波反射端安装在滑块上，所述滑块与所述导轨可上下滑动连接，所述微调按钮安装在滑块的下方。

4.如权利要求3所述的纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，其特征在于：所述微调按钮与所述导轨螺纹连接。

5.如权利要求3所述的纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，其特征在于：所述超声换能器连接第一减震器，所述第一减震器安装在机架上，所述超声波反射器连接第二减震器，所述第二减震器安装在滑块上。

6.如权利要求5所述的纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，其特征在于：所述第一减震器连接压电传感器，所述压电传感器安装在机架上，所述超声波反射器连接压电致动器。