[发明专利]直拉式单晶生长炉

权利要求书

1.一种直拉式单晶生长炉，包括：设于该炉顶部并伸入炉内的氩气输入管(12)、与氩气输入管(12)相连通的环形气体分布器(11)；其特征在于：经氩气输入管(12)输入的氩气气压为0.8×10³Pa至0.9×10³Pa，氩气流量为30L/min；

该炉还包括：设于该炉的坩埚支持器(14)下方和该炉底部的排气口(13)之间的气流导向装置(20)；该气流导向装置(20)为碗形，其包括：设于气流导向装置(20)底部中央的中轴孔(2-1)、设于所述中轴孔(2-1)两侧的一对电极孔(2-2)以及设于所述中轴孔(2-1)两侧并与该炉的排气口(13)相对的通气孔(2-3)；该炉的石墨中轴(21)穿过所述气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)，该炉的一对电极柱(15)分别穿过所述电极孔(2-2)，该炉的排气口(13)与气流导向装置(20)的各通气孔(2-3)相连通，气流导向装置(20)的上端部(2-4)设于该炉的保温筒(17)与发热体(16)之间。

2.根据权利要求1所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于：所述气流导向装置(20)的中轴孔(2-1)与该炉的石墨中轴(21)活动密封连接。

3.根据权利要求1或3所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于：所述气流导向装置(20)的电极孔(2-2)分别与该炉的电极柱(15)密封连接。

4.根据权利要求3所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于：所述气流导向装置(20)的上端部(2-4)的外壁与该炉的保温筒(17)密封连接。

5.根据权利要求4所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于：所述气流导向装置(20)各通气孔(2-3)与该炉的排气口(13)通过通气管(19)相连通。

6.根据权利要求5所述的直拉式单晶生长炉，其特征在于：所述气流导向装置(20)由石墨制成。