[发明专利]荫罩式等离子体显示板用电极的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种等离子体显示板的电极制作技术，尤其是一种荫罩式等离子体显示板的电极制作技术，具体地说一种在荫罩式等离子体显示板的面板上，利用薄膜光刻技术和厚膜技术相结合的荫罩式等离子体显示板用电极的制备方法。

背景技术

目前常用的电极制备方法有丝网印刷法、光敏银浆法和薄膜光刻法。丝网印刷法通过曝光、显影的方法将所需的电极图形做在一定目数的丝网上，用导电银浆作汇流电极的原材料，再在丝印机上经过丝网印刷把导电银浆料印刷到基板的所需位置上，印刷后经烘干直接形成图形，但是采用丝网印刷法制作电极，电极宽度小于100μm时比较难实现。目前使用比较多的是光敏银浆法，就是在基板上整板印刷一定厚度的光敏银浆，烘干后用专用的掩膜版经曝光、显影，得到所需的电极图形，再经过烧结，完成汇流电极的制作。但是这种方法制备电极需要把浆料印刷给玻璃基板的整面，而最终形成的图形的浆料只有约30％。高分辨的线条通常需要用薄膜方法，分辨率的限制是决定是否使用厚膜技术的最大的因素，薄膜光刻法是采用真空成膜装置成膜，上面用光刻胶形成保护膜，然后经过曝光、显影、腐蚀等一系列工艺技术，形成图形，可以获得整板均匀性好、精度高的电极线条(几微米宽)，但是光刻设备昂贵，制造工艺复杂，成本很高，材料浪费严重，且容易造成污染。将薄膜光刻技术和厚膜技术相结合，不仅可以做到比较细的电极，且成本远低于薄膜法，同时由于不需要整板印刷浆料，可以减少不必要的资源的浪费和制造费用的增加。此外，还可以解决电极的两端部分发生翘起的卷边现象的问题。

发明内容

本发明的目的是针对现有等离子体显示板的电极制作方法的不足，为提高面板的质量和生产效率、降低面板的制造成本，而提出的一种荫罩式等离子体显示板用电极的制备方法。

本发明的技术方案是：

一种荫罩式等离子体显示板用电极的制备方法，它包括布置于前玻璃基板上互相平行放置的扫描电极，以及布置于后玻璃基板上的与所描述电极正交的寻址电极的制作方法，二种电极的制备方法完全相同，其特征在于它包括以下步骤：

a、在玻璃基板表面制作含PVA感光材料的感光层；

b、曝光：用带线条图形的掩膜版平铺在感光层的表面，再用紫外光照射掩膜板和感光材料，形成固化的感光材料和未固化的感光材料；

c、显影：用显影液喷淋以上曝光过的玻璃基板，去除未固化的感光材料，形成有所需图形的固化的感光材料的玻璃基板。

d、填充导电银浆：在去除的感光材料处填充导电银浆，形成所需要的导电银浆图形。

e、烘干：将带有感光材料和导电银浆的基板烘干，去除导电银浆中的部分溶剂，使电极成形，并附着在玻璃基板上；

f、烧结：采用烧成炉对经过烘干的玻璃基板进行烧结，去除上述固化的感光材料，同时彻底去除导电银浆中的溶剂，使电极成形，并具有导电能力。

所述的导电银浆应采用不具有光敏特性的浆料。

所述的感光层可以在烧成的高温过程中直接分解去除。

所述的导电银浆最好是以梯形形状形成在上述玻璃基板上。

在曝光和显影阶段中，应使感光干膜能够被带线条图形的掩膜版防护的光的衍射和折射现象形成反梯形。

本发明的有益效果：

本发明提出的荫罩式等离子显示板的电极形成方式，在等离子显示面板的玻璃基板上，只对利用感光材料形成实际模式的部分形成电极，因此具有杜绝不必要导电银浆的浪费，减少显示面板的制造费用，并可以提高生产效率，同时通过形成的梯形电极，可以防止电极卷边现象发生的效果。

附图说明

图1为本发明的荫罩式等离子体显示器的基本结构。

图2为本发明的电极的制作过程示意图，其中：图2a是感光层的结构示意图；图2b是曝光状态示意图；图2c是显影状态示意图；图2d是填充导电银浆和干燥状态示意图；图2e是电极烧成状态示意图。

图2中：13为前玻璃基板或后玻璃基板、14为感光层、15为带有电极图案的掩膜版、16为紫外光、17为固化的感光材料、18为未固化的感光材料、19为显影液、20为导电银浆、21为最终成形的扫描电极或寻址电极。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的内容作进一步的说明。