[发明专利]投影曝光设备中的成像装置

权利要求书

1.一种用于微刻的投影曝光设备的成像装置的光学元件的操纵装置，光 学元件安装于可移动部分(12)，可移动部分(12)和固定部分(13)经由 环形盘(22)并经由三个线性驱动器(11)连接，环形盘(22)经由圆周固 定接合点(23)连接至可移动部分(12)和固定部分(13)，线性驱动器(11) 的移动轴线(17)至少近似垂直于环形盘(22)的平面，且该三个线性驱动 器(11)与该平面的相交点形成三角形。

2.如权利要求1所述的操纵装置，其特征在于，移动轴线(17)至少在 近似于光学元件(10)的光轴(21)方向走向。

3.如权利要求1或2所述的操纵装置，其特征在于，线性驱动器(11) 中的每一个具有驱动的子区域(14)和不驱动的子区域(15)，它们在移动 轴线(17)的方向上相对于彼此移动，子区域(14、15)至少临时地经由具 有至少近似垂直于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(18)，以及经由 具有至少近似平行于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(19)来相互连 接。

4.如权利要求3所述的操纵装置，其特征在于，具有至少近似垂直于移 动轴线(17)的活动方向的功能元件(18)被设计为夹紧元件，经由该夹紧 元件可以实现两个子区域(14、15)相互的夹紧，或者经由该夹紧元件受到 预加应力作用的两个子区域(14、15)的夹紧能被释放，其特征还在于，具 有至少近似乎行于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(19)被设计为进 给元件，用于使两个子区域(14、15)相对于彼此移动。

5.如权利要求3所述的操纵装置，其特征在于，线性驱动器(11)中的 每一个都具有平行引导件，平行引导件引导两个子区域(14、15)至少近似 相互平行。

6.如权利要求5所述的操纵装置，其特征在于，平行引导件具有两根杆 (20)，它们分别经由固定接合点连接至子区域(14、15)，并且它们被布置 成至少近似相互平行。

7.如权利要求3所述的操纵装置，其特征在于，具有至少近似垂直于移 动轴线(17)的活动方向的功能元件(18)被设计为提升压电元件，具有至 少近似平行于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(19)被设计为剪切压 电元件，所述提升压电元件和所述剪切压电元件(18、19)组合使得所述驱 动的子区域(14)相对于所述不驱动的子区域(15)在所述移动轴线的方向 上移动。

8.如权利要求3所述的操纵装置，其特征在于，可移动部分(12)和固 定部分(13)经由线性驱动器(11)的连接被设计成这样的方式，即一个子 区域(15)永久地连接于固定部分(13)，其特征还在于，另一个子区域(14) 以这样的方式连接于可移动部分(12)，即该连接相对于垂直于移动轴线(17) 的运动被解除。

9.如权利要求1所述的操纵装置，其特征在于，可移动部分(12)相对 于固定部分(13)的位置可通过至少三个传感器(24)来检测。

10.如权利要求9所述的操纵装置，其特征在于，传感器(24)被设计 成为绝对测量传感器。

11.如权利要求9所述的操纵装置，其特征在于，传感器(24)被设计成 光学位置传感器。

12.如权利要求11所述的操纵装置，其特征在于，光学位置传感器具有 玻璃测量尺。