[发明专利]衬底支承设备

权利要求书

1.一种衬底支承设备，包括：

隔开对应于或者超过衬底宽度的距离的第一轴和第二轴；

用以支承所述衬底的线材，所述线材具有结合于所述第一轴和所述第二轴的相应者的端部；以及

传感器，用以检测所述线材中的断裂。

2.如权利要求1所述设备，还包括用于上、下升降所述第一轴和所述第二轴的升降单元。

3.如权利要求1所述的设备，还包括：

在所述线材下方的下电极；以及

在所述下电极的相应侧彼此平行的第一支承件和第二支承件，其中，所述第一轴和所述第二轴分别固定到所述第一支承件和所述第二支承件。

4.如权利要求1所述的设备，还包括：

在所述线材下方的下电极；以及

围绕着所述下电极设置的框架，其中，所述第一轴和所述第二轴被固定到所述框架的相应的面对着的边。

5.如权利要求4所述的设备，其中，所述框架的形状是矩形。

6.如权利要求1所述的设备，还包括：

在所述线材下方的下电极；以及

在所述下电极的相应侧彼此平行的第一支承件和第二支承件，所述第一支承件和所述第二支承件分别具有多个第一组合孔和第二组合孔，其中，所述第一轴被插进所述第一组合孔中的任何一个，并且所述第二轴被插进所述第二组合孔中的任何一个。

7.如权利要求1所述的设备，还包括：

在所述线材下方的下电极，

其中，所述下电极包括沟槽，所述沟槽当所述第一轴和所述第二轴被降下以将所述衬底下降到所述下电极的表面上时接收所述线材。

8.如权利要求1所述的设备，其中，所述线材的外周面是导体。

9.如权利要求1所述的设备，其中，通过在所述线材的一端施加电流并在所述线材的第二端检测所述电流存在或者不存在，所述传感器检测所述线材中的断裂。

10.如权利要求1所述的设备，还包括：

与多个第二轴相隔开的多个第一轴；以及

用以支承所述衬底的多根线材，所述多根线材结合在相应的轴对之间，每对轴包括与所述第二轴中的一个有相对关系的所述第一轴中的一个。

11.如权利要求10所述的设备，其中，所述第一轴与所述第二轴隔开对应于或者超过衬底宽度的距离。

12.如权利要求1所述的设备，其中，所述第一轴和所述第二轴位于使所述线材避免接触所述衬底上的图案的位置。

13.如权利要求12所述的设备，其中，所述第一轴和所述第二轴的位置可以被改变以使所述线材避免接触所述衬底上的图案。