[发明专利]透光性导电薄膜

说明书

技术领域

本发明涉及透光性导电薄膜及其制造方法，尤其涉及对拦 截由CRT(阴极射线管)、PDP(等离子体显示器)、EL(电致 发光)、面板等显示器前面产生的电磁波有用的显示器用透光性 导电薄膜。

背景技术

以往，一提到显示器，代表性的是CRT显示器，但最近取 而代之地，FPD(平板显示器)作为薄型电视等已经被普及。 FPD当中，LCD(液晶显示器)和PDP率先普及，今后，还能 想像到在这些以外，SED(表面传导电子发射显示器，Surface -conduction Electron-emitter Display)等受到瞩目的FED(场 发射显示器)进一步普及。

在这样的各种显示器中，从像素的驱动信号等产生电磁波， 例如以上述当中的PDP、CRT进行说明的话，为了屏蔽由这些 显示器产生的电磁波，已知配置在显示器前面的电磁波屏蔽滤 波器。在这样的用途中使用的电磁波屏蔽滤波器，还要求电磁 波屏蔽性能以及透光性。

因此，为了兼具导电性和透光性，已知基材使用树脂薄膜 或玻璃等透明基材、并在该透明基材上通过金属箔的蚀刻或金 属镀敷设置网眼层的显示器用电磁波屏蔽滤波器。由该金属层 制成的网眼层，其层自身是不透光性的，因此按照俯视形状变 成网眼状的方式将层形成网眼状的图案并设置多个小孔(开口 部)，从而确保透光性。但是，如果网眼过大，则比较显眼而影 响显示器图像，另外如果网眼的孔的总面积(开口率)小，则 还是影响显示器图像而变暗。另外，构成网眼的线如果过细， 网眼的面电阻增加，进而产生断线等，损害本来的电磁波屏蔽 性能。

电磁波屏蔽滤波器的导电性图案多数是通过蚀刻被层压到 透明基材上的铜箔而形成的，该面为光反射性的话，就会反射 外部光线等不需要的光，使透视图像的明室对比度(是指在明 亮的房间的对比度。)降低，因此通常通过黑化处理将网眼层的 层自身的面变黑(例如，参照专利文献1)。因此，工序变复杂， 在生产率和成本方面存在问题。

进而，在现有的电磁波屏蔽滤波器中，即便网眼层被进行 黑化处理，也存在如下问题，即，对显示器的视角的变化，导 致对比度的降低，会出现显示器所显示的图像的显示(色泽、 色调、色彩等)产生不均这一现象。

另外，还存在蚀刻工序导致导电性图案的交点部分变粗的 问题。如果有这种导电性图案的交点部分变粗，就存在由其引 起的画面的条纹。

专利文献1：日本特开平10-335884号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明是鉴于该实情而开发的，其主要目的在于提供一种 不发生由视角变化导致的对比度降低，宽视角时(从正面渐渐 向斜方向改变视角观看时)显示器所显示的图像的显示(色泽、 色调、色彩等)几乎不发生变化的透光性导电薄膜。

另外，本发明的其它目的在于不经过复杂的工序而廉价地 提供该透光性导电薄膜。

另外，本发明的其它目的在于提供可以防止导电性图案的 交点部分变粗的透光性导电薄膜的制造方法以及通过该制造方 法所得到的新型透光性导电薄膜。

用于解决问题的方法

发明人鉴于上述课题进行深入研究，结果查明，通过蚀刻 法所形成的导电性图案的截面形状具有的棱引发的向特定方向 的光的反射使得透视图像的对比度降低，显示器所显示的图像 的视角不同导致显示(色泽、色调、色彩等)不同。而且，不 使用蚀刻法而利用印刷法将导电性图案的宽度方向的截面形状 制成不具有棱的形状，从而解决前述问题，并实现了一个目的。

另外，发明人对导电性图案的交点部分出现的变粗的原因 进行深入研究。结果，工业上所使用的蚀刻方法是等向性的蚀 刻方法即“湿法蚀刻”。因此，该方法中，从表层阶段性地溶解 除去，因此图案的截面在纵方向上成为富士山那样的形状。另 外，在面方向上宽的部分早已被除去，相反窄的部分的除去速 度相对变慢。因此，线的交点即拐角部分的蚀刻速度变慢，尤 其是交点的角度为90度或者超过90度的角度(钝角)的情况下， 其曲率半径变大的倾向高，因此查明其产生导电性图案的交点 部分变粗的现象。而且，不使用蚀刻法而利用印刷法使交叉的 导电性图案的交点处的曲率半径为40μm以下，从而解决前述变 粗的问题，实现了上述另一目的。