[发明专利]薄膜移除设备及移除薄膜的方法

权利要求书

1、一种薄膜移除设备，其特征在于，包括：

一研磨头；

一超声波震荡装置，用来驱动该研磨头，以移除位于一基材上的一薄膜；以及

一微粒移除装置，用来移除由该薄膜所产生的多个微粒。

2、根据权利要求1所述的薄膜移除设备，其特征在于，该研磨头的材料选自于金属、非金属以及上述组合所组成的一族群。

3、根据权利要求1所述的薄膜移除设备，其特征在于，该薄膜沉积于该基材之上。

4、根据权利要求1所述的薄膜移除设备，其特征在于，该超声波震荡装置包括一传动杆与该研磨头连接，借以驱动该研磨头进行一横向往复运动，其中该传动杆与该往复运动的方向垂直，且该传动杆与该基材平行。

5、根据权利要求4所述的薄膜移除设备，其特征在于，该微粒移除装置是一抽气装置，且该抽气装置包括：

一第一吸嘴，邻设于该研磨头；

一轮刷，邻设于该第一吸嘴，用来清洁该表面。

6、根据权利要求4所述的薄膜移除设备，其特征在于，该微粒移除装置包括：

一第一吸嘴；

一第二吸嘴，其中该第二吸嘴与该第一吸嘴分别对称地邻设于该研磨头的两侧，并且分别与该横向往复运动的方向平行；以及

一第三吸嘴，邻设于该研磨头，其中该第三吸嘴与该横向往复运动的方向平行，且该第一吸嘴、该第二吸嘴以及该第三吸嘴相互连通。

7、根据权利要求1所述的薄膜移除设备，其特征在于，该超声波震荡装置包括一传动杆与该研磨头连接，借以驱动该研磨头进行一横向往复运动，且该传动杆与该基材垂直。

8、根据权利要求7所述的薄膜移除设备，其特征在于，该超声波震荡装置还包括一旋转装置可带动该传动杆和该研磨头同轴旋转。

9、根据权利要求4所述的薄膜移除设备，其特征在于，还包括：

一处理基台，用来承载并固定该基材；以及

一载台用来承载该超声波震荡装置，通过该载台的移动来带动该传动杆，使该研磨头在该基材的该薄膜上移动。

10、根据权利要求4所述的薄膜移除设备，其特征在于，包括：

一固定架，用来固定该传动杆；以及

一处理基台，用来承载该基材，并带动该基材的该薄膜与该研磨头接触。

11.一种移除薄膜的方法，其特征在于，包括：

提供一研磨头使其与一基材的一薄膜接触；

提供一超声波震荡装置驱动该研磨头以移除该薄膜；以及

提供一微粒移除装置，来移除由该薄膜所产生的多个微粒。