[发明专利]单晶衬底及其切割方法有效
| 申请号： | 200810126935.9 | 申请日： | 2003-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN101330280A | 公开（公告）日： | 2008-12-24 |
| 发明（设计）人： | 瓦连京·切列德尼克;德弗舍尔斯托夫·米哈伊尔;崔用林 | 申请（专利权）人： | LG伊诺特有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜有;王春伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衬底 及其 切割 方法 | ||
【权利要求书】：
1. 一种单晶衬底，包括：
具有SAW传播表面的石英衬底；和
在所述表面上具有用来发射和/或检测表面声波的电极的输入和输出IDT，其中表面波的传播方向平行于X’轴，并且该衬底还具有垂直于所述表面的Z’轴和平行于该表面且垂直于X’轴的Y’轴，所述的石英衬底具有由修正轴X、Y和Z所限定的晶体取向，轴X’、Y’和Z’的相对取向由欧拉角φ、θ和ψ限定，其中φ的范围为-5°≤φ≤+5°，θ的范围为60°≤θ≤80°，ψ的范围为-5°≤ψ≤+5°，或其中φ是0°，θ的范围为17°≤θ≤23°，ψ的范围为10°≤ψ≤20°。
2. 权利要求1的单晶衬底，其中石英的最优欧拉角为φ＝0°，θ＝70.5°和ψ＝0°。
3. 权利要求1的单晶衬底，其中石英的最优欧拉角为φ＝0°，θ＝20°和ψ＝13.7°。
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