[发明专利]重量测定装置、液滴喷出装置及重量测定方法

说明书

技术领域

本发明涉及重量测定装置、液滴喷出装置及重量测定方法，尤其涉及在不受气流影响的情况下精度良好地测定的装置及方法。

背景技术

以往，作为对工件喷出液滴的装置，知道有以喷墨式喷出液滴的液滴喷出装置。液滴喷出装置具备：搭载有喷墨喷头(以下，称为液滴喷出头)的滑架；和载置基板等工件并使工件移动的载物台。还有，使液滴喷出头和工件相对移动的同时，向工件喷出液滴来进行涂敷。

在这样的液滴喷出装置中，在专利文献1中公开有精度良好地控制喷出量的方法。根据该文献可知，液滴喷出装置通过具备重量测定装置并测定液滴喷出头喷出的喷出量后，进行调节，将功能液的涂敷量控制而涂敷。还有，液滴喷出头喷出的喷出量由于气氛的温度而容易受影响，因此，通过空气控制装置使被控制温度的气体流动，从而控制液滴喷出装置的温度。

【专利文献1】特开2004-209429号公报

然而，在以往的方法中，利用空气控制装置生成气流。还有，在气流流动的过程中，重量测定装置测定放入有被测定物的容器的重量。此时，由于气体和容器接触，导致被测定物的测定值变动，存在不能精度良好地测定重量的问题。

发明内容

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而做成的，可以通过以下的方式或适用例来实现。

[适用例1]

本适用例的重量测定装置是一种重量测定装置，测定配置于容器内的被测定物的重量，该重量测定装置具备覆盖所述容器的上部空间的防风罩、使所述防风罩和所述容器在远离的方向上相对移动的升降装置，所述防风罩具备遮挡从侧面流动的气流的横向风防止部，所述升降装置具备弹性部和气缸，所述弹性部对所述防风罩在与所述容器分离的方向上施力，所述气缸在使所述防风罩与所述容器靠近的方向上施力。

在此，上部空间表示相对于容器在与重力加速度方向大致相反的方向上，与容器邻接的位置的空间。还有，从侧面流动的气流表示在与重力加速度方向大致正交的方向上流动的气流。

根据该重量测定装置可知，重量测定装置具备防风罩，防风罩具备横向风防止部。还有，防风罩对于容器，防止在重力加速度方向上流动的气流与容器接触。进而，通过横向风防止部遮挡气体的流动，防止流动的气流从容器的侧面方向流动，与容器接触。从而，防止流动的气体与容器接触，导致被测定物的重量测定值变动。其结果，能够精度良好地测定被测定物的重量。

[适用例2]

在上述适用例所述的重量测定装置中，其特征在于，具备使所述防风罩和所述容器在远离的方向上相对移动的升降装置。

根据该重量测定装置可知，升降装置使防风罩和容器向远离的方向移动。从而，在使容器和防风罩相对移动时，容器和防风罩不会滑动移动，因此，容器不会擦过防风罩，导致振动。其结果，防止容器振动，导致被测定物的重量测定值变动的情况。其结果，能够精度良好地测定被测定物的重量。

[适用例3]

在上述适用例所述的重量测定装置中，其特征在于，具备对所述升降装置的动作、和测定所述被测定物的动作进行控制的控制装置，所述控制装置在使所述防风罩靠近所述容器后测定所述被测定物。

根据该重量测定装置可知，控制装置在防风罩靠近所述容器后，测定被测定物。从而，防止流动的气流接触容器后，测定被测定物，因此，防止容器由于气流而振动，导致被测定物的重量测定值变动。其结果，能够精度良好地测定被测定物的重量。

[适用例4]

在上述适用例所述的重量测定装置中，其特征在于，所述升降装置具备弹性部和气缸，所述弹性部对所述防风罩在与所述容器分离的方向上施力，所述气缸在使所述防风罩与所述容器靠近的方向上施力。

根据该重量测定装置可知，气缸在使防风罩和容器靠近的方向上施力。还有，在供给于气缸的气体的压力降低时，弹性部将防风罩和容器向远离的方向施力。从而，供给于气缸的气体的压力降低时，防风罩和容器远离，因此，能够防止防风罩和容器接触，导致防风罩或容器受到损伤。

[适用例5]

在上述适用例所述的重量测定装置中，其特征在于，在所述容器的周围的至少一部分，在与所述防风罩对置的位置具备罩承载部，在所述防风罩和所述罩承载部的至少一方，在所述防风罩和所述罩承载部靠近的位置具备弹性部。

根据该重量测定装置可知，在防风罩和罩承载部之间配置弹性部。在防风罩接近罩承载部时，防风罩有时与罩承载部接触。此时，弹性部变形，因此，防止罩承载部振动。还有，防止由于罩承载部的振动型容器传递，导致容器振动，被测定物的重量测定值变动。其结果，能够精度良好地测定被测定物的重量。

[适用例6]