[发明专利]具有内埋式导电线路的电路板及其制造方法有效
申请号: | 200810129055.7 | 申请日: | 2008-06-20 |
公开(公告)号: | CN101290890A | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 廖国成 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/28;H05K1/02 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 台湾省高雄市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 内埋式 导电 线路 电路板 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造电路板的方法,包含下列步骤:
提供基板,该基板具有两相对的第一表面与第二表面;
于该基板的第一表面上形成第一金属层,该第一金属层具有两相对的第一表面与第二表面,该第一金属层的第一表面上形成有突起结构,其是埋入该基板的第一表面,其中该第一金属层的第二表面上具有一第一区域;
于该第一区域上形成遮蔽层;
对该第一金属层进行蚀刻,使得裸露于该遮蔽层之外的第一金属层被移除;
将该遮蔽层移除;及
于该基板的第一表面上形成防焊层,并裸露出该第一金属层。
2.如权利要求1所述的方法,其中于该基板的第一表面上形成第一金属层的步骤包含:
提供载板;
于该载板上形成该第一金属层,其中该第一金属层的第二表面是贴附于该载板上;
将该载板与该基板压合,使得该第一金属层的突起结构埋入该基板的第一表面;及
将该载板移除。
3.一种制造电路板的方法,包含下列步骤:
提供基板,该基板具有两相对的第一表面与第二表面;
于该基板的第一表面上形成第一金属层,该第一金属层具有两相对的第一表面与第二表面,其第一表面上形成有突起结构,是埋入该基板的第一表面,其中该第一金属层的第二表面上具有第一区域与第二区域;
于该第一金属层的第二表面上形成遮蔽层,并裸露出该第一与第二区域;
于该第一与第二区域上形成第二金属层;
将该遮蔽层移除;
对该第一金属层进行蚀刻,使得裸露于该第二金属层之外的第一金属层被移除;及
于该基板的第一表面上形成防焊层,并裸露出该第二金属层。
4.如权利要求3所述的方法,其中于该基板的第一表面上形成第一金属层的步骤包含:
提供载板;
于该载板上形成该第一金属层,其中该第一金属层的第二表面是贴附于该载板上;
将该载板与该基板压合,使得该第一金属层的突起结构埋入该基板的第一表面;及
将该载板移除。
5.如权利要求3所述的方法,更包含:
于该基板的第二表面上形成第三金属层,该第三金属层具有两相对的第一表面与第二表面,该第三金属层的第一表面上形成有突起结构,其是埋入该基板的第二表面,其中该第三金属层的第二表面上具有第三区域;
于该第三金属层的第二表面上形成该遮蔽层,并裸露出该第三区域;
于该第三区域上形成第四金属层;
将该第三金属层的第二表面上的遮蔽层移除;
对该第三金属层进行蚀刻,使得裸露于该第四金属层之外的第三金属层被移除;及
于该基板的第二表面上形成该防焊层,并裸露出该第四金属层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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