[发明专利]反力处理装置

权利要求书

1.一种反力处理装置，用于处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力，并设置在移动载物台装置上，该移动载物台装置的上述载物台在经由除振部被设置于基座上的上述定盘上移动，其特征在于：

具有用于将降低上述反力的力施加到上述定盘上的施加装置，

上述施加装置以被上述定盘覆盖的方式被设置在相比该定盘的盘面偏上述基座侧的位置上。

2.如权利要求1记载的反力处理装置，其特征在于：上述反力作用在上述定盘上的作用点的高度与降低上述反力的力作用在上述定盘上的作用点的高度的差h为下式表示的允许值h_max以下，

h_max＝(Y_max·J·K_p)/(N·M_SLIDER·f_r)

其中，Y_max：载物台的位置偏差的允许值

J：移动载物台装置的惯性转矩

K_p：控制增益

N：从移动载物台装置的重心高度到载物台的位置测量点的高度的距离

M_SLIDER：载物台的质量

f_r：反力。

3.如权利要求1记载的反力处理装置，其特征在于：上述施加装置能够调整高度。

4.如权利要求1记载的反力处理装置，其特征在于：

上述施加装置具有：安装在上述定盘上的可动件、和与该可动件非接触地安装在上述基座上的固定件，

该施加装置构成为，使降低上述反力的力从上述固定件施加到上述可动件上。

5.一种反力处理装置，用于处理由于载物台的移动而在定盘上产生的反力，并设置在移动载物台装置上，该移动载物台装置的上述载物台在由防振部支承的上述定盘上移动，其特征在于：

具有将降低上述反力的力施加到上述定盘上的促动器，

上述促动器设置在上述定盘侧面的凹部中。

6.如权利要求5记载的反力处理装置，其特征在于：上述促动器具有可动件以及固定件，上述可动件固定安装在上述凹部的内部。

7.如权利要求6记载的反力处理装置，其特征在于：上述固定件与上述可动件非接触地设置在上述凹部的内部。

8.如权利要求6记载的反力处理装置，其特征在于：上述固定件不从上述定盘侧面突出。