[发明专利]模具

说明书

本申请是第200610171898.4号发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种模具，特别是制造显示器的模具。

背景技术

通常，液晶显示器包含液晶显示面板，该液晶显示面板包含形成薄膜晶体管(TFT)的TFT基板，具有滤色器的滤色器基板，以及插入在它们之间的液晶层。由于液晶面板本身并不发光，因此将背光单元设置在TFT基板的后面。

TFT基板和滤色器基板每个均包含以预定图案形成的多个层，所述图案利用光刻常规地形成。但是，有时该图案的再现性不佳，并且光刻蚀加工设备昂贵。

近来，已经使用压印光刻法来在一层上形成图案。该压印光刻法在简单的工艺中使用模具和不昂贵的设备。但是，当通过模具形成图案时，可能保留有不需要的残留膜。

发明内容

在将遮光材料施加到具有滤色器层的显示装置的基板上的过程中，该遮光材料溅射到彩色滤光图案上，该彩色滤光图案具有使该基板露出的开口。希望遮光材料通过该开口进入并覆盖该基板，但是此后该遮光材料应该可以容易地从该滤色器的固体部分移除。基于本发明，对通过该开口可接近的该基板的该表面进行处理，以便该基板层和该被溅射上去的遮光材料的界面张力之间的差小于滤色器层和该被溅射上去的遮光材料之间的界面张力。因此，本发明的一个方面是提供一种显示装置的制造方法，该方法包括：提供基底基板；在该基板上形成主层(master layer)，该主层具有暴露出部分该基底基板的预定图案的开口；用反应物对该主层和通过该主层的该开口露出的该基底基板的表面进行处理；以及在该开口内提供第一材料，该反应物表面处理导致该主层与该提供的第一材料之间的界面张力的差小于该提供的第一材料与该基板之间的界面张力。

基于本发明的一个方面，该第一材料为遮光材料。

基于本发明的一个方面，该方法还包括通过在该基底基板和该主层上形成可模压的材料层，然后使该可模压的材料层和该遮光材料固化来制作具有遮光膜的模具；在使该模具与该主层分开之后，在其上形成有光敏膜的绝缘基板上对该模具进行排列、加压和曝光；以及在使该模具与该绝缘基板分开之后使该光敏膜显影。

基于本发明的一个方面，该基底基板包含氧化硅。

基于本发明的一个方面，该基底基板包括基底层和形成在该基底层上的无机层，并且该无机层包含氮化硅。

基于本发明的一个方面，该表面处理包括CF₄等离子体处理。

基于本发明的一个方面，该主层的界面张力通过CF₄等离子体处理而变小，使得该主层具有强疏水性。

基于本发明的一个方面，该表面处理包括O₂/CF₄等离子体处理以及自组装单层(self-assembly monolayer，SAM)处理。

基于本发明的一个方面，通过该O₂/CF₄等离子体处理和该SAM处理，该基底基板的该界面张力的降低大于该主层的界面张力的降低。

基于本发明的一个方面，通过该表面处理，该基底基板的界面张力的水平变得接近于该遮光材料的界面张力的水平。

基于本发明的一个方面，通过该表面处理，提供到该主层上的该遮光材料在提供时流入该开口内。

基于本发明的一个方面，该遮光材料通过热和光的至少一种固化。

基于本发明的一个方面，该可模压的材料层通过热和光的至少一种固化。

基于本发明的一个方面，该可模压的材料层由透过紫外光的材料构制成。

基于本发明的一个方面，该主层包含光敏有机材料，并且采用具有预定开口图案的掩模进行曝光，然后显影为具有形成在其内的开口。

基于本发明的一个方面，该主层包含PC411B和PC405G的一种。

基于本发明的一个方面，该光敏膜包含有机材料。

因此，本发明的一个方面是提供一种模具，该模具包含：具有至少一个或更多个凸起的图案形成层；以及形成在该凸起的端部处的遮光膜。

基于本发明的一个方面，该图案形成层由透过紫外光的透明材料制成，并且该遮光膜由遮挡紫外光的材料制成。

基于本发明的一个方面，该图案形成层包含PDMS(聚二甲基硅氧烷)。

因此，本发明的一个方面是提供一种模具，其包含：支撑层；形成在该支撑层的第一表面上并具有至少一个凸起的图案形成层；以及形成在该支撑层的第二表面上并位于与该凸起相对应的区域内的遮光膜。