[发明专利]一改进的红外传感微型机械装置

权利要求书

1.一微机械像素包括：

(a)一传感元件，它包含一光学反射体和一被一定距离隔开的红外吸收体层， 该距离等于所涉及的红外线波长的大约四分之一或倍数，从而形成一光学吸收 腔；所述光学反射体由设置于一介质层的周围并与其接触的一单金属层或一对金 属层组成；

(b)一对弯曲元件，每个连接到所述传感元件的第一端，每个所述弯曲元件 由两个多层悬臂组成，该多层悬臂由一热隔离区域分开，且每个所述多层悬臂由 一低膨胀层和一高膨胀层组成，所述弯曲元件加热时相互回应；以及

(c)一由能传输所述红外线波长的材料组成的底层，每一所述弯曲元件的第 二端与所述底层连接。

2.根据权利要求1所述的微机械像素，进一步包含：

(d)一与所述红外吸收体层相连接的部分吸收层，所述部分吸收层包括一金 属。

3.根据权利要求1所述的微机械像素，其特征在于：所述传感元件包含一光 学反射体和一等于零距离隔开的红外吸收体层。

4.根据权利要求3所述的微机械像素，其特征在于：所述传感元件进一步包含：

(a)一与所述红外吸收体层相接触的部分吸收层，所述部分吸收层包含金属。

5.根据权利要求1所述的微机械像素，其特征在于：所述在每个所述多层悬 臂的高膨胀层包含一聚合物。

6.根据权利要求1所述的微机械像素，其特征在于：所述每个所述多层悬臂 有一聚合物层，它相对所述低膨胀层沿所述高膨胀层设置。

7.根据权利要求1所述的微机械像素，其特征在于：所述每个所述多层悬臂 有一沿它长度设置的非平面外形。

8.根据权利要求1所述的微机械像素，进一步包括：

(d)一防反光涂层，它由至少有一个能沿所述底层的至少一个表面上传输所 述红外波长的材料组成。

9.一微机械像素包括：

(a)一传感元件，它包含一光学反射体和一被一定距离隔开的红外吸收体层， 该距离等于所涉及的红外线波长的大约四分之一或倍数，从而形成一个光学吸收 腔；所述光学反射体由设置于一介质层的周围并与其接触的一单金属层或一对金 属层组成；

(b)一对弯曲元件，每个连接到所述传感元件的第一端，每个所述弯曲元件 由两个多层悬臂组成，该多层悬臂由一热隔离区域分开，且每个所述多层悬臂由 一低膨胀层和一高膨胀层组成，所述弯曲元件加热时相互回应；以及

(c)一由能传输光波波长的材料组成的底层，每一所述弯曲元件的第二端与 所述底层连接。

10.根据权利要求9所述的微机械像素，进一步包括：

(d)一与所述红外吸收体层相连接的部分吸收层，所述部分吸收层包括一金 属。

11.根据权利要求9所述的微机械像素，其特征在于：所述传感元件包含一光 学反射体和一等于零距离隔开的红外吸收体层。

12.根据权利要求11所述的微机械像素，其特征在于：所述传感元件进一步包 含：

(a)一与所述红外吸收体层相接触的部分吸收层，所述部分吸收层包含金属。

13.根据权利要求9所述的微机械像素，其特征在于：每个所述多层悬臂的所 述高膨胀层包含一聚合物。

14.根据权利要求9所述的微机械像素，其特征在于：所述每个所述多层悬臂 有一聚合物层，它相对所述低膨胀层沿所述高膨胀层设置。

15.根据权利要求9所述的微机械像素，其特征在于：所述每个所述多层悬臂 有一沿它长度设置的非平面外形。

16.根据权利要求9所述的微机械像素，进一步包括：

(d)一防反光涂层，它由至少有一个能沿所述底层的至少一个表面上传输所 述红外波长的材料组成。