[发明专利]用于评估具有重复图案的物体的方法和系统

权利要求书

1.一种用于评估具有重复图案的物体的系统，该系统包含：光学单元； 其中所述光学单元包含照明光学元件、采集光学元件和灰场检测器；

其中所述照明光学元件适于以少量辐射扫描具有多个规则重复的结构元 素的重复图案的物体，从而产生包含多个衍射瓣的衍射图案；

其中所述采集光学元件适于采集和过滤所述衍射图案以产生过滤后的衍 射图案，所述过滤后的衍射图案由单一衍射瓣组成；

其中所述灰场检测器适于从所述采集光学元件采集聚焦的辐射图案并产 生检测信号，所述检测信号包含由扫描所述重复图案产生的第一图案成分和由 扫描所述物体上的缺陷产生的第二图案成分；以及

其中所述检测信号包括所述第一图案成分的振荡信号和所述第二图案成 分的振荡信号，且所述光学单元适于光学地衰减所述第一图案成分的振荡信 号，以减弱所述第一图案成分的振荡信号从而与所述第二图案成分的振荡信号 相区别。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一图案成分基本恒 定。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述多个规则重复的结构 元素和所述多个规则重复的结构元素的背景中的至少一个为至少部分透明的， 以及其中所述采集光学元件的至少一个透镜和所述照明光学元件的至少一个 透镜设置在所述物体的相对侧。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，包含处理单元，该处理单 元适于处理所述检测系统信号以评估所述物体。

5.一种用于评估具有重复图案的物体的方法，该方法包含：

用照明光学元件以少量辐射扫描具有多个规则重复的结构元素的重复图 案的物体，以产生包含多个辐射瓣的衍射图案；

用采集光学元件采集所述衍射图案；

通过所述采集光学元件过滤所述衍射图案以产生过滤后的衍射图案，所述 过滤后的衍射图案由单一衍射瓣组成；

通过灰场检测器采集所述过滤后的衍射图案；

通过所述灰场检测器根据所述过滤后的衍射图案产生检测信号，其中所述 检测信号包含由扫描所述重复图案产生的第一图案成分和由扫描所述物体上 的缺陷产生的第二图案成分，所述检测信号包括所述第一图案成分的振荡信号 和所述第二图案成分的振荡信号；以及

光学地衰减所述第一图案成分的振荡信号，以减弱所述第一图案成分的振 荡信号从而与所述第二图案成分的振荡信号相区别。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一图案成分基本恒 定。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，包含采集含有单一衍射瓣 的辐射，而不采集含有其它衍射瓣的辐射。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述多个规则重复的结构 元素和所述多个规则重复的结构元素的背景中的至少一个为至少部分透明，所 述方法进一步包含：

采集穿过所述多个规则重复的结构元素和所述背景中的所述至少一个的 辐射。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，包含处理所述检测信号以 评估所述物体。