[发明专利]用糊状物分配器分配糊状物的方法

权利要求书

1.一种用糊状物分配器将糊状物分配在基板上的方法，所述糊状 物分配器将所述糊状物以使得分配开始位置与分配末端位置重叠的方 式分配在所述基板上，同时通过相对于所述基板提升或降低喷嘴来改变 用于通过分配压力排出所述糊状物的喷嘴的分配高度，并且改变所述喷 嘴相对于所述基板水平移动的分配速度，所述方法包括：

将所述喷嘴沿分配所述糊状物的方向从待机高度倾斜地逐渐降低 至第一分配高度，直到所述喷嘴到达分配开始位置为止，然后将所述喷 嘴保持在所述第一分配高度，直到所述喷嘴到达第一高度上升位置为 止；以及

当所述喷嘴到达所述第一高度上升位置时将喷嘴从所述第一分配 高度提升至第二分配高度，然后将所述喷嘴保持在所述第二分配高度，

在所述喷嘴到达所述第一高度上升位置之前，施加所述分配压力以 在所述喷嘴到达在图案开始位置后面的第二加速结束位置之前或到达 所述第二加速结束位置时达到预定压力，然后保持所述预定压力；

在所述喷嘴从所述分配开始位置移动至在图案开始位置前面的第 一加速结束位置的同时将所述分配速度从零速度增加至第一分配速度； 以及

当所述喷嘴到达所述第二加速结束位置时将所述分配速度从所述 第一分配速度增加至第二分配速度，然后将所述分配速度保持在所述第 二分配速度；

在所述喷嘴从图案结束位置或从在所述图案结束位置后面的位置 移动至第二高度上升位置的同时将所述喷嘴保持在所述第二分配高度；

在所述喷嘴从所述第二高度上升位置移动至第三高度上升位置的 同时将所述喷嘴从所述第二分配高度提升至第三分配高度，然后将所述 喷嘴保持在所述第三分配高度；

在所述喷嘴到达所述第三高度上升位置的同时将所述分配高度从 所述第三分配高度增加至第四分配高度，并将所述喷嘴保持在所述第四 分配高度，直到所述喷嘴到达分配结束位置为止，

当所述喷嘴到达在所述图案结束位置前面的第一减速开始位置时 减少所述分配压力；

当所述喷嘴到达在所述第一减速开始位置时降低所述分配速度，直 到所述分配速度达到第一分配速度为止；以及

将所述分配速度从所述喷嘴到达在所述图案结束位置后面的第二 减速开始位置时的第一分配速度降低至所述喷嘴到达所述分配结束位 置时或当所述喷嘴经过所述分配结束位置后时的零速度，

其中，所述第一高度上升位置在所述图案开始位置和所述第二加速 结束位置之间。

2.如权利要求1所述的方法，其中从所述零速度增加所述分配速 度包括以如下方式增加所述分配速度，即使得所述喷嘴沿分配所述糊状 物的方向从所述待机高度倾斜地逐渐下降至所述分配开始位置。