[发明专利]检查装置、检查方法、检查系统、滤色镜的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种从拍摄具有起伏的被检查物的起伏端部的图像中，检测以特定周期在该被检查物中产生的条斑(linear irregularities)的检查装置等。

背景技术

近年来，液晶显示装置在推进大型化的同时，倾向于其需要增加。但是，为了使液晶显示装置进一步普及，必须降低成本。尤其是，在液晶显示装置中，对成本比重较高的滤色镜(color filter)的成本降低的要求正在提高。

最近，基于喷墨法的滤色镜的形成方法正在受到关注。在该形成方法中，通过从喷墨头的喷嘴中向各像素喷出R(红)、G(绿)、B(蓝)墨水，形成滤色镜。喷墨法的特征在于行程数少和墨水浪费少。由此，可实现工艺的缩短和低成本。

但是，在喷墨法形成滤色镜的情况下，产生滤色镜的制造工艺引起的具有特定周期的条斑(条状的不规则)。条斑由于滤色镜的膜厚差异而产生，并且目视(透过滤色镜的透射光)识别为条斑，所以大大影响液晶显示装置的品质。

这里，说明由喷墨法形成的滤色镜中产生具有特定周期的条斑的理由。在由喷墨法形成滤色镜的情况下，对形成黑矩阵的透明基板，边沿扫描方向(描绘方向)移动具有喷出墨水的多个喷嘴的头单元，边从各喷嘴向由透明基板上的黑矩阵包围的规定区域喷出液状材料。之后，若扫描方向的喷出完成，则在使头单元沿与扫描方向正交的方向移动规定距离之后，再使头单元沿扫描方向，依次喷出液状材料，重复上述动作，由此可制作在透明基板上形成了由黑矩阵区分的像素(絵素)的滤色镜。

此时，在由于某些原因而致使液状材料的喷出量在头单元的每个喷嘴处变得散乱的情况等下，以喷嘴间隔在滤色镜中产生条斑。另外，在因某些原因使一个喷嘴堵塞的情况等下，以头单元间隔在滤色镜中产生条斑。这样，在利用喷墨法制作出滤色镜的情况下，产生具有对应于其产生原因的各种周期的条斑。

如上所述，由于产生条斑的滤色镜的品质存在问题，所以，产生条斑的滤色镜必须在制造阶段检测并除去。但是，滤色镜中产生的条斑以10～100nm级的膜厚差出现，所以光的干涉或透射光的膜厚测量方法难以检测条斑。

因此，以前使用如下方法，即通过测量滤色镜的像素端面的角度，间接地测量膜厚，并检测条斑。根据图8(a)～(c)来说明该方法。图8(a)～(c)是表示通过测量像素端面的角度来测量膜厚的方法的图。

图8(a)表示膜厚正常的像素中的像素端面的角度。即，这里，假设在膜厚为正常值h的情况下，像素端面的角度在两侧均为α。

另一方面，图8(b)表示膜厚薄的像素中的像素端面的角度。如图所示，像素端面的角度在两侧均为β。比较图8(a)与图8(b)可知，β的角度比α小。因此，可知图8(b)中的膜厚h’比图8(a)中的正常膜厚h薄。

这样，测定像素端面的角度，在该角度低于正常值α的情况下，可判断为该像素的膜厚比正常的膜厚h薄。由此，可检测以10～100nm级出现的条斑。

但是，条斑不仅如图8(b)所示在像素的整个面中产生均等的膜厚差。即，如图8(c)所示，有时涂敷在滤色镜上的像素向单侧倾斜。在下面的说明中，将涂敷的像素向单侧倾斜所产生的条斑称为单侧倾斜不规则。

该单侧倾斜不规则在上述现有的拍摄像素端面的检查中，由于像素端面的倾斜角度不同，所以会误判定为产生了膜厚差。这是因为如图8(c)所示，在像素发生了倾斜的情况下，像素端面的角度在同一像素的两侧分别为不同的值。

例如，图8(c)中，像素左侧端面的角度为比正常角度α小的β，所以现有检查方法中，会将图8(c)所示的像素被检测为产生了膜厚差的缺陷像素。但是，图8(c)所示的像素右侧端面的角度为比正常角度α大的γ，结果，图8(c)所示的像素的膜厚为正常值h。

这样，单侧倾斜不规则实际上不产生膜厚差。因此，产生了单侧倾斜不规则的滤色镜的透射光中未识别条斑。因此，产生单侧倾斜不规则的滤色镜由于作为制品没问题，故应作为合格品处理。但是，若该单侧倾斜不规则以宽频带(空间频率)出现在随机的位置上，则在上述现有的测量了像素端面后间接地测量膜厚差的检查中，对于应作为合格品处理的产生了单侧倾斜不规则的滤色镜进行缺陷判定。

如上所述，在检测条斑缺陷的检查中，重要的是对与正常的滤色镜相比产生了膜厚差并应作为缺陷处理的工艺引起的特定周期的条斑、和应作为合格品处理的条斑(单侧倾斜不规则)进行区别检测。