[发明专利]氦质谱检漏仪的进样系统

说明书

技术领域

本发明涉及气体流体领域，主要涉及一种氦质谱检漏仪的进样方式。

背景技术

目前氦质谱检漏仪的进样方式采用的是逆扩散原理。其中检漏仪包含机械泵 1、旁路预抽阀2、分子泵前级阀3、分子泵4、进样阀5、质谱检测器6、检漏 口7和旁路系统8。因为氦原子质量比空气的氮、氧分子质量小很多(氦原子量 4、氧分子量32、氮分子量28)，氦原子的扩散速度更快，更大比例的氦原子可 以从分子泵的下部逆扩散进入质谱MS检测系统。国内外常规的连接方法是：在 检漏过程中，先关闭分子泵的前级阀3和进样阀5，然后开旁路预抽阀2，当旁 路真空度达到检测范围以后，关旁路预抽阀2，开前级阀3和进样阀5，气体从 进样阀进入分子泵4，由于氦原子的扩散速度快，可以从下面逆扩散进入质谱检 测器6。

发明内容

本发明提出另一种进样方式可以获得高很多的检漏灵敏度。本发明的检漏 仪的结构不变，具体的操作做法是，先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路 预抽阀2，当真空度达到5-30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。

两种进样方式的差异在于：前者，气体样品进入分子泵4后，有很大一部分 气体被抽速较高的分子泵下部叶片抽走，只有小部分逆扩散进入质谱检测器6； 而后者，气体样品只有一小部分被抽速低得多的机械泵抽走，大部分进入分子 泵4，逆扩散到达质谱检测器6，进入的气体不会被分子泵下部的叶片抽走，因 为前级阀门3是关闭的。

经上述改进，检漏仪的灵敏度由8×10^-11Pa m³/s提高到1×10^-11Pa m³/s，因 此，具有更高的灵敏度。