[发明专利]可编程润湿控制器有效
申请号: | 200810133783.5 | 申请日: | 2008-07-23 |
公开(公告)号: | CN101354446A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | R·F·小维穆思 | 申请(专利权)人: | 金特克斯光学公司 |
主分类号: | G02B1/10 | 分类号: | G02B1/10;B05D1/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 朱海煜;王小衡 |
地址: | 美国宾夕*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可编程 润湿 控制器 | ||
1.一种用于对镜片进行润湿和涂层的装置,包括:
适合于包含溶液的至少一个箱;
处理系统,用于顺序地相对于彼此移动透镜和所述溶液;以及
主控制模块,耦合到所述处理系统,并且配置成根据润湿分布来 控制所述透镜的润湿的执行,其中所述润湿分布包括:(i)在浸入 之前的等待时间段、浸入速度/加速度分布、浸入时间和离开速度/加 速度分布,所述浸入速度/加速度分布和离开速度/加速度分布是基于 增量垂直透镜表面相对于所述溶液的表面的斜率的,其中,所述润湿 分布包括移动所述透镜以便获得恒定的透镜表面润湿速度、使得透镜 涂层具有均匀的厚度的指令;以及(ii)说明重力的校正因子,其中 透镜的顶部比透镜的底部更快或更慢地通过液体透镜界面。
2.如权利要求1所述的装置,其中,所述溶液从由清洗溶液、 处理剂溶液、冲洗溶液、涂层溶液以及中和溶液组成的组中选取。
3.如权利要求1所述的装置,还包括:提供透镜检验数据的检 验系统。
4.如权利要求3所述的装置,其中,所述主控制模块配置成监 测所述透镜检验数据,以便识别与所述润湿分布有关的涂层厚度缺 陷。
5.如权利要求4所述的装置,其中,所述主控制模块还配置成 检索与所述所识别的缺陷对应的校正数据,并根据所述校正数据来改 变所述润湿分布。
6.如权利要求5所述的装置,其中,所述主控制模块还配置成 按照改变后的润湿分布来跟踪所述透镜,并评估对所述润湿分布的改 变是否校正了所识别的缺陷。
7.如权利要求6所述的装置,其中,所述主控制模块还配置成 存储与对所述润湿分布的改变相对于所识别的缺陷的校正的准确性 有关的信息。
8.如权利要求7所述的装置,其中,所述主控制模块还配置成 将所存储的信息结合到对所述润湿分布的后续改变中。
9.如权利要求1所述的装置,其中,所述主控制模块配置成改 变所述润湿分布的至少一个元素,包括非线性浸入速度和非线性离开 速度这两者其中之一。
10.如权利要求1所述的装置,其中,所述处理系统改变所述溶 液水平。
11.如权利要求10所述的装置,其中,所述处理系统改变所述 溶液水平,其中以基于所述透镜表面上的弧长的速率来改变所述水 平,以便提供恒定的液体透镜界面速度。
12.如权利要求9所述的装置,其中,所述润湿分布能够改变分 立透镜部分的浸入或离开速度。
13.如权利要求1所述的装置,其中,所述处理系统配置成将所 述透镜保持在固定位置,以及其中,所述至少一个箱配置成保持恒定 箱液位,并按照所述润湿分布来移动所述箱以便使所述透镜浸入。
14.如权利要求1所述的装置,其中,所述处理系统配置成将所 述透镜相对于所述箱的位置保持在固定位置,以及所述箱配置成按照 所述润湿分布来以所述溶液填充,以便使所述透镜浸入。
15.如权利要求1所述的装置,还包括:至少两个箱,其中,所 述处理系统还配置成在所述至少两个箱之间移动所述透镜。
16.如权利要求1所述的装置,其中,所述润湿分布基于由透镜 特征、透镜几何形状、基线和基线范围组成的组中的至少一个。
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