[发明专利]低温处理钝化应用的方法无效
申请号: | 200810133991.5 | 申请日: | 2003-12-10 |
公开(公告)号: | CN101350396A | 公开(公告)日: | 2009-01-21 |
发明(设计)人: | 乔马克;竹原孝子;尚泉源;威廉·R·哈巴杰 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低温 处理 钝化 应用 方法 | ||
本申请是提交于2003年12月10日,申请号为200380104493.3,题为“低温处理钝化应用的方法”的专利申请的分案申请。
技术领域
本发明主张于2002年12月11日申请,标题为Low temperatureprocess for passivation application的美国专利申请案第10/317,774号的优先权,其全文合并于此以供参考。
本发明是关于改良的有机电激发光装置以及用来制造有机电激发光装置的改良的方法。有机电激发光装置包含有机发光二极管和高分子发光二极管,其应用在许多装置中,例如车用收音机、移动电话、数码相机、摄影机(camcorders)以及个人数字助理。
背景技术
在过去二十年中,出现了基于来自小型有机分子(有机发光二极管或OLEDs)或导电高分子(高分子发光二极管或PLEDs)薄层所发射的光线的新颖的平面显示器技术。与液晶显示器(LCDs)相比,此技术以较低的能量耗损提供对比度较高的显示器,并且提供速度足以用于影像应用的响应时间。以OLED和PLED技术为基础的显示器展现出比液晶显示器(LCDs)宽广许多的视角。目前,全球有多于七十家公司正在研发基于OLED或PLED结构的显示器技术。预测以OLEDs为基础的显示器的销售,例如车用收音机、移动电话、数码相机、摄影机、个人数字助理、导航系统、游戏机以及次笔记型(subnotebook)个人计算机,在2005年会成长至高于十亿美元。
OLED和PLED两者的基本装置配置是多层或三明治型结构,包含一玻璃基板、一透明阳极、两层或多层具有不同的电荷传导或发光特性的有机层以及一金属阴极。该有机层的型态一般是从半结晶型至非晶型。与无机LEDs不同,对于OLEDs和PLEDs并没有晶格适配的要求,这大大放宽了可用的基板类型以及可合并入装置内的材料类型。在装置结构中使用多重有机层会促进有机 电极接口处的电荷注入(charge injection),而导致较低的驱动电压。此外,多重有机层的使用让电子和空穴(因此,发射区域的位置)的建构远离该电极,这显著改进该装置的效能。
图1标出根据先前技术的典型的有机发光装置30。该有机发光装置30包含基板32、位于基板32上的阳极34、位于阳极34上由空穴传输材料(HTM)构成的空穴传输区域36、位于空穴传输区域36上包含空穴传输材料及电子传输材料的混合物的混合区域38、位于混合区域38上由一电子传输材料(ETM)构成的电子传输区域40、位于电子传输区域40上的阴极42以及位于阴极42上的保护层44。并非所有的电激发光装置都精确地具有在图1的有机发光装置30中所示的各层。为了方便,此后运用“有机层”一词来表示多层结构,例如区域36、38、40以及与区域36、38和40相同的所有一层或多层有机层结构。在混合区域38中,空穴传输材料和电子传输材料的其中之一是发射器。在应用电流时,该有机发光装置发射出由电子和空穴在用来制造区域36、38、和40的有机材料中再结合所产生的光线。
用来形成空穴传输区域36和混合区域38的空穴传输材料通常是导电材料,例如聚苯胺(polyaniline)、聚咯(polypyrrole)、聚苯基乙烯基(poly(phenylene vinylene)、在美国专利第4,356,429号中所公开的紫质衍生物(porphyrin derivatives),其全文合并于此以供参考,铜花青(copper phthalocyanine)、铜四甲基花青(copper tetramethylphthalocyanine)、锌花青(zinc phthalocyanine)、二氧化钛花青(titaniumoxide phthalocyanine)、镁花青(magnesium phtalocyanine)或其混合物。其它空穴传输材料包含芳香三级胺类(aromatic tertiary amines)、多核芳香胺类(polynuclear aromatic amines)以及在美国专利第4,539,507号和美国专利第6,392,339号中所公开的其它化合物,其全文合并于此以供参考。该空穴传输材料可以利用,例如,等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)、常压化学气相沉积(CVD)、溅镀或旋转涂布法来沉积在该阳极上。参见,例如,凡·赞特(Van Zant)的微芯片制造(MicrochipFabrication),麦格罗·西尔出版公司(McGraw-Hill),2000年,其全文合并于此以供参考。
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