[发明专利]用于电气和光学互连的设备

权利要求书

1.一种柔性光电子互连，包括：

第一介电层；

第二介电层；

信号层，所述信号层设置在所述第一和第二介电层之间，所述信 号层包括第一信号迹线，所述第一信号迹线具有适于与光学部件电气 耦合的第一端和适于与电气部件电气耦合的第二端；

第一接地平面层，所述第一接地平面层设置在所述第一介电层 上；

第二接地平面层，所述第二接地平面层设置在所述第二介电层 上；以及

多个第一通道，所述多个第一通道电气耦合所述第一接地平面层 和所述第二接地平面层；以及

至少一个第二通道，所述至少一个第二通道从所述信号层延伸通 过所述第一接地平面层，用于将所述信号层电气耦合到至少一个外部 电路元件。

2.如权利要求1所述的互连，还包括与所述第一信号迹线电气隔 离的第二信号迹线。

3.如权利要求1所述的互连，其中所述第一接地平面层、所述第 二接地平面层和所述多个第一通道包括在所述第一信号迹线周围的 法拉第屏蔽。

4.如权利要求1所述的互连，其中所述第一信号迹线包括下列中 的一种：带状线迹线、单端迹线或差分迹线对。

5.如权利要求1所述的互连，其中所述第一信号迹线包括约 50ohm的受控阻抗。

6.如权利要求1所述的互连，其中所述第一信号迹线包括约 100ohm的受控阻抗。