[发明专利]微机电系统的感应构件及麦克风元件

权利要求书

1.一种微机电系统的感应构件，包括：一基材、一薄膜及多数支撑体；该基材形成有一开孔，该薄膜位于该开孔处并与该基材相间隔，所述支撑体围绕该薄膜设置，且连接于该薄膜与该基材间用以支撑该薄膜；其特征在于：各该支撑体具有一凹面朝向该薄膜的曲弧段、一由该曲弧段的中间区域凸伸至该膈膜的连接段，及二分别由该曲弧段两端弯折延伸至该基材的固持段。

2.如权利要求1所述的微机电系统的感应构件，其特征在于：各该曲弧段具有一垂直方向及一水平方向，该垂直方向与该薄膜的平面方向概呈垂直，且该水平方向与该薄膜的平面方向概呈平行；各该曲弧段在该垂直方向具有一厚度值，定义为t_h，并在该水平方向具有一宽度值，定义为w，其中，t_h/w≥3。

3.如权利要求1所述的微机电系统的感应构件，其特征在于：w＜3μm。

4.一种微机电系统的麦克风元件，包括一如权利要求1～3项的任一项所述的感应构件。