[发明专利]一种显影液喷头

权利要求书

1.一种显影液喷头，其特征在于含有中空的面板；面板的一侧具有多个穿透面板一侧的面板壁的孔，上述孔排列成平面状；面板的另一侧设置有显影液的入端管道和出端管道。

2.根据权利要求1所述的显影液喷头，其特征在于上述面板是圆形的。

3.根据权利要求1所述的显影液喷头，其特征在于上述面板的面积小于等于晶片的面积。

4.根据权利要求1或2或3所述的显影液喷头，其特征在于上述孔的分布形式是由中心向边缘呈辐射状分布。

5.根据权利要求1或2或3所述的显影液喷头，其特征在于上述出端管道的底部高于各入端管道的底部。

6.根据权利要求5所述的显影液喷头，其特征在于上述出端管道设置于上述面板的中心位置。

7.根据权利要求6所述的显影液喷头，其特征在于上述入端管道设置于上述面板上靠近边缘的位置，且以上述出端管道为中心对称设置。

8.根据权利要求1所述的显影液喷头，其特征在于上述入端管道是4个。

9.根据权利要求8所述的显影液喷头，其特征在于上述4个管道形成正方形，且该正方形的对角线的交点正好位于上述出端管道处。