[发明专利]衍射光学元件及其成形用模具以及该模具的制造方法

权利要求书

1、一种衍射光栅元件，具有多个为锯齿形状的衍射光栅，其特征在于，

在上述多个衍射光栅中的某个衍射光栅的倾斜面的下端侧，在上述倾斜面与邻接的衍射光栅的侧面之间，形成有相对上述倾斜面倾斜的倒角面，其中，上述某个衍射光栅的上述倾斜面、与邻接于该衍射光栅的衍射光栅的侧面所成的角为规定角度以下。

2、如权利要求1所述的衍射光栅元件，上述规定角约为80度。

3、一种衍射光学元件成形用模具，用于具有多个为锯齿形状的衍射光栅的衍射光学元件的成形，其特征在于，

具有与上述衍射光学元件的上述多个衍射光栅相对应的锯齿形状的多个槽部，

在上述多个槽部中的某个槽部的倾斜面的上端侧，在上述倾斜面与邻接的槽部的侧面之间，形成有相对上述倾斜面倾斜的倒角面，其中，上述某个槽部的上述倾斜面、与邻接于该槽部的槽部的侧面所成的角为规定角度以下。

4、如权利要求3所述的衍射光学元件成形用模具，上述规定角约为80度。

5、如权利要求3所述的衍射光学元件成形用模具，上述倒角面形成为，其与上述侧面垂直的方向上的宽度约为0.2μm。

6、一种衍射光学元件成形用模具的制造方法，该衍射光学元件成形用模具用于具有多个为锯齿形状的衍射光栅的衍射光学元件的成形，并具有对应于上述多个衍射光栅的锯齿形状的多个槽部，该衍射光学元件成形用模具的制造方法的特征在于，

具有：

在模具材料表面的规定位置上通过切削形成截面为V字状的V槽的步骤；

通过切削上述V槽的一个斜面的下方侧，形成与上述V槽的一个斜面相交、且与上述模具材料表面大致垂直的上述槽部的侧面的步骤；以及

通过切削，形成与上述槽部的上述侧面相交、且在与相交于上述侧面的上述V槽的一个斜面相反的方向上延伸的上述槽部的倾斜面的步骤，

在形成上述侧面与上述倾斜面所成的角度为规定角度以下的上述槽部的情况下，在通过切削形成上述倾斜面的步骤中，切削与上述倾斜面的上端侧相邻接的其它V槽的一个斜面的上端部，形成相对上述倾斜面倾斜并交叉的倒角面。

7、如权利要求6所述的衍射光学元件成形用模具的制造方法，其特征在于，

通过一个切削工具同时进行形成上述槽部的侧面的步骤、和形成上述槽部的倾斜面的步骤。

8、一种衍射光学元件，其特征在于，该衍射光学元件使用权利要求3所述的衍射光学元件成形用模具来制造。