[发明专利]一种实时测量金刚石单晶生长的动态方法有效

专利信息
申请号: 200810140396.4 申请日: 2008-10-17
公开(公告)号: CN101385960A 公开(公告)日: 2009-03-18
发明(设计)人: 李木森;尹龙卫;许斌;亓永新;宫建红;宿庆财;李和胜;刘磊 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: B01J3/06 分类号: B01J3/06;C30B29/04
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 代理人: 王绪银
地址: 250061山*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 实时 测量 金刚石 生长 动态 方法
【权利要求书】:

1.一种实时测量金刚石单晶生长的动态方法,其特征是采用声发射无损检测技术,以金刚石单晶在高温高压合成条件下生长过程的原位反应所产生的声发射源信号作为检测对象,进行实时动态检测;该方法包括以下步骤:

(1)采用片式组装方式组装金刚石合成压块,在叶腊石制成的金刚石合成压块内采用一片石墨和一片触媒的单片迭加方式;

(2)采用配备有2-8个声发射传感器的声发射仪,声发射传感器的数量为偶数;声发射传感器在金刚石合成设备的空间位置上呈对称放置;在金刚石合成设备的空间对称位置上放置与声发射传感器数量相等的波导,并耦合,然后将波导另一側与声发射传感器耦合;声发射仪的总增益≥80分贝、门槛电压1V,声发射仪配有定区检测功能单元,可以将所检测的声发射源信号选定在金刚石合成压块内部,以保证所检测的声发射源信号产生于高温高压下金刚石单晶生长的原位反应过程,而将其它部位产生的声发射信号作为噪声排除掉;

(3)采用声发射信号计数率为测量参量,用X-Y函数记录仪记录声发射信号计数率的测量结果;

(4)采用金刚石合成设备和高温高压合成工艺合成金刚石单晶,将金刚石合成压块放入金刚石合成设备,在高温高压下合成2分钟之后,用声发射仪开始采集金刚石单晶生长过程原位反应产生的声发射源信号,并在X-Y函数记录仪上同步记录声发射信号计数率的测量结果。

2.根据权利要求1所述一种实时测量金刚石单晶生长的动态方法,其特征是步骤(1)中单片迭加的石墨和触媒的形状均为圆片,直径与金刚石合成压块的腔体直径相等;金刚石合成压块的腔体内衬有白云石套管,两端用导电钢圈和叶腊石套圈封堵。

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