[发明专利]阵列波导器件用的多维对准平台

权利要求书

1.一种阵列波导器件用的多维对准平台，其特征是：在底板(100)上设有中间运动平台(200)，在所述的底板(100)上设有以所述的中间运动平台(200)左右对称分布的两台六维高精度运动平台，所述的中间运动平台(200)是在固立台(202)上设有固定台(2013)，在所述的固定台(2013)上转动设有绕Y轴旋转动平台(2014)，在所述的固定台(2013)上安装有通过第三高品质弹性联轴节(2012)与所述的绕Y轴旋转动平台(2014)传动连接的第二步进电机(2011)，在所述的绕Y轴旋转动平台(2014)上设有转接台(203)，在所述的转接台(203)上方布置有高精密通用的集成光子芯片夹具(503)和真空吸附口(5031)，每台六维高精度运动平台的结构是在所述的底板(100)上设有X轴轴向运动平台，所述的X轴轴向运动平台的动平台与Z轴轴向运动平台的固定台连接，在所述的Z轴轴向运动平台的动平台上设有连接体，所述的连接体与Y轴轴向运动平台的固定台连接，所述的Y轴轴向运动平台的交流伺服电机尾部向下，所述的Y轴轴向运动平台的动平台与绕Y轴旋转Ty运动平台的固定台连接，在所述的绕Y轴旋转T y运动平台的动平台上设有转接板，所述的转接板与绕X轴旋转Tx运动平台的固定台连接，所述的绕X轴旋转Tx运动平台的动平台与绕Z轴旋转T z 运动平台的固定台连接，在所述的绕Z轴旋转Tz运动平台的动平台上设有连接板和夹具，在所述的夹具上设有与所述的集成光子芯片夹具(503)对应的高精密通用的波导夹具。

2.根据权利要求1中所述的阵列波导器件用的多维对准平台，其特征是：所述的六维高精度运动平台的重心设在所述的X轴轴向运动平台和所述的Z轴轴向运动平台的交点上。

3.根据权利要求1或2所述的阵列波导器件用的多维对准平台，其特征是：所述的X轴轴向运动平台(302)、Z轴轴向运动平台(402)和Y轴轴向运动平台的结构是在固定台上设有线性滑块导轨，所述的线性滑块导轨两端设有零位开关和限位开关，在所述的线性滑块导轨上滑动设有动平台，交流伺服电机通过安装台安装在所述的固定台上并通过第一高品质弹性联轴节连接有高精密滚珠螺杆，所述的高精密滚珠螺杆通过滑块与所述的动平台连接，在所述的固定台上设有RS232接口，在所述的动平台上设有光栅尺。

4.根据权利要求1或2所述的阵列波导器件用的多维对准平台，其特征是：所述的绕Y轴旋转Ty运动平台、绕X轴旋转Tx运动平台和绕Z轴旋转Tz运动平台的结构是在固定台上滑动设有动平台，第一步进电机安装在所述的固定台上并通过第二高品质弹性联轴节连接有蜗杆，在所述的动平台上设有与所述的蜗杆啮合的蜗轮，在所述的第一步进电机上设有RS232接口。