[发明专利]基于剪应力检测的石英微机械陀螺及其制作方法

权利要求书

1.一种基于剪应力检测的石英微机械陀螺，其特征在于：它包括支撑质量块(2)、用于敏感科里奥利力导致的剪切力并在±Y方向反相振动的第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)、第一驱动梁(5)、第二驱动梁(6)、四个可动质量块以及驱动电极和检测电极，所述第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)对称布置于支撑质量块(2)的两端，支撑质量块(2)通过第一悬臂梁(3)与第一驱动梁(5)相连，支撑质量块(2)通过第二悬臂梁(4)与和第二驱动梁(6)相连，所述第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的布置方向与第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)的布置方向垂直，所述四个可动质量块分别固定于第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的端部，所述固定于第一驱动梁(5)端部的两个可动质量块在±X方向上同相振动，所述固定于第二驱动梁(6)端部的两个可动质量块也在±X方向上同相振动且与固定于第一驱动梁(5)端部的两个可动质量块的振动方向相反。

2.根据权利要求1所述的基于剪应力检测的石英微机械陀螺，其特征在于：所述驱动电极布置于第一驱动梁(5)和第二驱动梁(6)的外表面。

3.根据权利要求1所述的基于剪应力检测的石英微机械陀螺，其特征在于：所述检测电极布置于第一悬臂梁(3)和第二悬臂梁(4)的外表面。