[发明专利]液体排出头及其制造方法

权利要求书

1.一种液体排出头，其包括被构造成产生用于从被构造成排出液体的排出口排出液体的能量的元件、以及用于与所述排出口液体连通的流路，所述液体排出头包括：

基板；

流路壁形成层，其与所述基板结合以在所述基板和所述流路壁形成层之间形成所述流路，并且在所述流路壁形成层中具有所述元件；

金属层，其设置有与所述元件对应的所述排出口；以及

突出部，其由金属制成，并且该突出部从所述金属层延伸穿过所述流路壁形成层并向所述基板的方向突出。

2.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，所述突出部突出到所述流路内。

3.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，还包括：

供应口，其被构造成向所述流路供应液体，并且所述供应口穿过所述基板设置；

其中，所述突出部突出到所述供应口中。

4.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，所述突出部突出到所述基板内。

5.根据权利要求4所述的液体排出头，其特征在于，所述突出部形成所述流路的壁的一部分。

6.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，还包含：

散热构件，其布置在所述基板的与所述排出口相反的一侧，

其中，所述突出部贯通所述基板并与所述散热构件接触。

7.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，所述流路壁形成层由氮化硅制成。

8.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，所述流路壁形成层包括：

保护层，其被构造成保护所述元件，所述保护层布置在所述元件与所述金属层之间。

9.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，所述金属层和所述突出部由相同的金属制成。

10.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于，所述流路壁形成层直接接触所述基板。

11.一种制造液体排出头的方法，该液体排出头包括基板、允许与被构造成排出液体的排出口液体连通的流路、设置在所述基板上并且形成所述流路的壁的一部分的流路壁形成层、设置在所述流路壁形成层中并且被构造成产生用于排出液体的能量的元件和设置在所述流路壁形成层上并且设置有所述排出口的金属层，所述方法包括：

在所述基板上形成所述流路壁形成层；

在所述流路壁形成层中形成所述元件；

形成贯通所述流路壁形成层的孔，并且在所述基板中形成与所述孔连续的槽；

在所述流路壁形成层上形成金属层，以填充所述孔和所述槽；以及

通过去除所述基板的一部分来形成所述流路。

12.根据权利要求11所述的制造液体排出头的方法，其特征在于，

在所述基板中形成槽的步骤中，使所述槽形成为延伸到对应于所述流路的位置，以及

通过去除所述基板的一部分形成所述流路，该一部分位于所述金属层的周围。

13.根据权利要求11所述的制造液体排出头的方法，其特征在于，

穿过所述基板设置被构造成向所述流路供应液体的供应口，以及

在所述基板中形成槽的步骤中，使所述槽形成为延伸到对应于将形成的所述供应口的内部的位置。