[发明专利]传输系统以及传输系统中的教导方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种设有用于在轨道部分上传输被传输物体(例如用 于制造半导体器件的各种基片等)的传输装置的传输系统，以及所述 传输系统中的教导方法。这里，“被传输物体”是指一种产品、中间 产品、部件、物品、工件、部分制成品、商品等，或者是指用于容纳 这样的产品的盒子或者容器等，其已经被或者将被该装置进行传输。

背景技术

作为这种类型的传输系统，存在这样一种系统，它具有OHT (Overhead Hoist Transport：高架提升传输)类型的传输装置，所述传 输装置在安装在天花板上或者附近的轨道部分上行进。在该系统中， 通过传输设备夹持或者保持被传输物体来进行转移。在这样的传输系 统中，为了使得传输装置能够可靠地夹持被传输物体，在执行转移中， 提供关于传输装置的停止位置等的教导。

例如，日本专利申请公开No.Hei 11-349280中公开了一种通过检 测在传输装置的停止位置中的移动量来进行教导的技术。此外，日本 专利申请公开No.2005-170544公开了一种利用识别标记检测在停止位 置中的移动量来进行教导的技术。此外，日本专利申请公开 No.2006-69687公开了一种利用空间坐标位置的校正值来进行教导的技 术。

然而，在某些情形中，根据传输装置和被传输物体之间的位置关 系，教导中所使用的停止位置的移动量等引起误差。具体地，当例如 通过卷起或者展开升降带等而从传输装置主体拉长或者提升夹持被传 输物体的夹持设备来进行转移时，或者当加载设备从行进设备滑动到 轨道的侧面——诸如横向转移——时或者在类似的情形中，误差是显 著的。因此，如同上述技术，如果通过在一个条件下检测移动量来提 供教导或者在类似的情形中，则存在例如不能提供准确教导的技术问 题。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种允许更加可靠地对于转移被传输 物体进行教导的传输系统以及在所述传输系统中的教导方法。

通过一种传输系统可以实现本发明的上述目的，所述传输系统设 有：轨道部分；沿着所述轨道部分设置的多个加载平台，在至少一个 方向中，其相对于所述轨道部分的位置彼此不同，并且能够在其每一 个之上放置被传输物体；多个传输车，其每一个具有(i)沿着所述轨 道部分行进的行进设备和(ii)加载设备，该加载设备被安装在所述行 进设备上，能够沿着所述至少一个方向移动，并且能够加载在所述多 个加载平台的每一个上放置的所述被传输物体；第一检测设备，用于 检测第一基准位置，所述第一基准位置是当基准传输车加载所述被传 输物体时所述加载设备相对于所述多个加载平台的每一个的位置，所 述多个传输车中的至少一个被视为所述基准传输车；第二检测设备， 用于检测第二基准位置，所述第二基准位置是当所述多个传输车中除 了所述基准传输车之外的其它传输车的每一个加载所述被传输物体时 所述加载设备相对于每个基准加载平台的位置，所述多个加载平台中 的至少两个被视为所述基准加载平台，所述至少两个基准加载平台的 位置在至少一个方向上彼此不同；以及教导设备，用于基于所检测的 第一和第二基准位置提供与当所述其它传输车的每一个加载所述被传 输物体时所述加载设备相对于所述多个加载平台中除了所述基准加载 平台之外的其它加载平台的每一个的位置相关的教导。

根据本发明的传输系统，在其操作中，首先，所述多个传输车中 的至少一个被视为基准传输车，并且通过所述第一检测设备来检测第 一基准位置，其中所述第一基准位置是当所述基准传输车加载所述被 传输物体时所述加载设备相对于所述多个加载平台中的每一个的位 置。典型地对于所有的所述多个加载平台检测所述第一基准位置。即， 检测用于所述多个加载平台的多个第一基准位置。附带地，所述“位 置”在这里包括所述加载设备的空间坐标(即，X、Y和Z坐标)等， 或者能够指定所述加载设备的位置的任何参数。例如，如果所述加载 设备没有移动或者没有移位，则表示所述行进设备在所述轨道部分上 的位置的一个参数就足够了。对于随后描述的第二基准位置同样如此。