[发明专利]电子部件及其制造方法以及具备该电子部件的电子装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种应用MEMS(Micro Electro Mechanical System)技术的电子部件及其制造方法以及应用它的电子装置。

背景技术

随着电子机器的小型、薄型化的发展，对应用MEMS技术的电子部件和电子装置已经进行了开发。这种电子装置的例子有：感应开关、驻极体式电容话筒(以下简称为“ECM”)等。在一个ECM的构成部件中，存在驻极体电容。

现有的感应开关和驻极体电容，具有：在使用了树脂、陶瓷等的台座上，粘接如聚酰亚胺那样的可挠性有机膜所组成的振动膜得到的横隔膜(diaphragm)的结构。对此，近年来，用于半导体元件制造的细微加工技术已被逐步用于横隔膜的台座、该台座上的振动膜和作为驻极体膜的固定膜(背面膜)的加工，或者振动膜与固定膜之间的气隙的加工等中。

这样应用细微加工技术的结果是：气隙变窄。因此，在高温多湿环境下使用感应开关或ECM，如果气隙中的水分结露，就会产生如下问题：造成振动膜与固定膜之间贴合。

在现有构造中，固定膜(驻极体膜)、振动膜上形成有贯通孔(依次为第1贯通孔、第2贯通孔)。为了避免从这些孔引入至气隙中的水蒸气或部分水分残存而结露，需要迅速排出水蒸气或水分。

为了达到上述目的，在气隙内，在固定膜的内面和横隔膜的振动膜的内面的任意一面或双方的面上，形成疏水层，这一内容及其方法已经公开(例如参照专利文献1)。根据该技术，在固定膜和横隔膜的振动膜的内面中的任意一面或双方的面上形成疏水层。这可以通过固定膜和横隔膜的振动膜所具有的第1贯通孔和第2贯通孔，向气隙内注入例如液相的过氟代硅烷等那样的疏水性物质来实现。这样，可以防止振动膜与固定膜的贴合，防止驻极体电容的性能受到影响。

此外，由于结露，有时在气隙内，在固定膜与横隔膜的振动膜之间的绝缘区间，会使表面电阻破坏而不能使用，或者局部产生电导通导致ECM噪音变大。

为了避免这种无法使用ECM以及产生噪音的情况发生，需要防止在气隙内的绝缘区间的结露，或者防止形成变为导电性的绝缘区间。

为了达到这一目的，针对ECM的固定膜(驻极体膜)或者振动膜，公开了一种结构，与ECM的框体相比，分别将体积热容量减小至1/3，将热传导率减少至1/100(例如参照专利文献2)。使用这种物理性质的部件的ECM，可以同时实现抑制气隙内的绝缘区间的结露，以及防止绝缘区间局部形成导电性。

专利文献1：特表2005-508579号公报

专利文献2：特开平05-7397号公报

但是，专利文献1和专利文献2的技术各自存在以下课题。

根据专利文献1的技术，通过形成疏水层来防止振动膜和固定膜(驻极体膜)的贴合。

但是，附着在疏水层的水滴和结露具有以下性质：由于各水分子彼此的引力向中心部作用，所以形成表面积很小的形状。其结果，由侵入气隙内的水蒸气和水分所形成的水滴和结露的蒸发速度缓慢，容易使固定膜和振动膜的绝缘性降低。因此，解决这一点就成为课题。

此外，根据专利文献2的技术，通过使固定膜和横膈膜的振动膜的体积热容量及热传导率小于框体的构成，来防止气隙内的水滴和结露。

但是，由于需要满足这些条件，所以对于固定膜、横隔膜的振动膜以及框体的材料来说，可选项明显减少。所以，实现感应开关和ECM就很困难。因此，解决这一点就成为课题。

发明内容

鉴于上述课题，本发明的目的是：回避上述课题，并且，防止侵入气隙内的水滴和结露造成的固定膜(驻极体膜)和振动膜的贴合，同时，防止两个膜之间的绝缘区间中的表面电阻值的低下。

为了达到上述目的，本发明的电子部件，包括：固定膜；振动膜，与固定膜相对；第1电极，设于固定膜上，至少具有1个第1贯通孔；第2电极，设于振动膜上的与第1电极重合的位置，至少具有1个第2贯通孔；气隙；在固定膜和振动膜之间被肋条包围而构成，分别与第1贯通孔和第2贯通孔相通；至少1个侧孔，设于包围气隙的肋条中，与气隙相通。这里，固定膜是驻极体膜。

通过本发明的电子部件，对于在高温多湿的环境下使用的情况等，即便蒸气或水分侵入气隙内，也可以通过设于包围气隙的侧壁(肋条)上的侧孔(具有毛细管功能的孔)消除。也就是说，可以在侧孔中收集(吸入)气隙内的水分。另外，在侧孔贯通肋条通至外部的情况下，可以将水分排出到外部，还可以将干燥的空气从外部由相反路径引入。此外，在气隙内产生结露的情况下，同样也可以由侧孔收集或排除。