[发明专利]固体摄像装置及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种固体摄像装置及其制造方法，特别涉及一种在微透镜表面形成有抗反射膜的固体摄像装置及其制造方法。

背景技术

固体摄像装置具有小型、重量轻、使用寿命长、余象低及低耗电等优点，近年来，作为组装在数码摄影机、数码相机中的摄像元件，其应用范围正在迅速扩大。

在此，存在有为了提高聚光效率而将用透明材料形成的微透镜设置在固体摄像装置中的情况。一般来说，用丙烯酸树脂(acrylic resin)、聚苯乙烯(polystyrene)等透明树脂来形成微透镜的情况较多，透明树脂表面的反射率为10％左右。一直以来，为了进一步提高聚光效率，谋求进一步降低该反射率。

例如，在日本专利第2719238号公报中记载了这样的方法：为了降低微透镜表面的反射率，而通过利用单分子膜法(Langmuir-Blodgett method)(以下，称为LB法)或水面成膜方法(water surface casting method)，来将抗反射膜形成在微透镜上。以下，结合附图，对利用在日本专利第2719238号公报中记载的抗反射膜的涂敷方法进行简单地说明。

图16～图18为表示在日本专利第2719238号公报中记载的以往的LB法的工序图。

LB法是在使用低分子量且挥发性较高的溶剂的情况下运用的方法。作为溶剂，使用将乙醚(ether)、酮(ketone)的氢原子(hydrogen atom)置换为氟原子(fluorine atom)的溶剂。将含有氟的树脂(fluorine-containing resin)(例如，含有氟的环氧树脂(fluorine-containing epoxy resin)、聚酯树脂(polyesterresin)、甲基丙烯酸酯树脂(methacrylate resin)及酚醛树脂(phenolic resin)溶解在该溶剂中，以使其浓度为10％以下(最好为5％以下)。

当将如上所述调整的氟树脂溶液滴在水面上时，包含在溶液中的高挥发性溶剂中的大部分就会蒸发，如图16所示，含有氟的树脂以单分子膜状态残留在水面上。通过用浮子(floating element)及重物对残留在水面上的单分子膜施加充分的表面压力，来保持固体膜的状态。

接下来，如图17所示，通过使晶片或芯片等基板穿过水面上下移动，来使单分子膜转移到基板上。其结果是，能够利用含有氟的树脂膜(抗反射膜)对设置在基板上的微透镜表面进行涂敷。此外，如图18所示，能够通过将基板反复地上下移动，来形成具有所希望的膜厚的抗反射膜。

此外，必要时，还可以进行通过加热等除去多余的溶剂的处理，来提高基板与含有氟的树脂膜之间的紧贴性。在LB法中，为了实现均匀的膜厚，最重要的是含有氟的树脂的种类及浓度。

另一方面，在水面成膜方法中，通过将几滴氟树脂溶液滴在水面上，来形成厚度为几十nm的薄膜。之后，与LB法一样，通过使基板穿过水面上下移动，来将薄膜(抗反射膜)层叠到微透镜上。或者，也可以通过在使基板保持水平状态下，尽可能使其接近水面上的薄膜之后，使基板稍微倾斜一点，让基板的一个边接触到薄膜上，来使薄膜(抗反射膜)转移到基板上。

图19为在日本特开2005-316111号公报中记载的以往的固体摄像装置的剖面图。

在日本特开2005-316111号公报中记载有：如图19所示，通过利用旋涂法，来形成埋入全部多个微透镜的透明树脂膜。

发明内容

在上述以往技术中存在有下面的问题。

首先，在日本专利第2719238号公报中记载有：通过利用LB法或水面成膜方法，来在微透镜上形成抗反射膜。然而，由于以晶片为单位运用该方法时，造成抗反射膜转印不均匀的现象，因此会产生在晶片之间，各个微透镜上的抗反射膜的厚度不均匀的问题。此外，也有这样的忧虑：在反射膜材料粘在晶片背面时，会引起在后续的工序中的制造装置的污染，从而降低生产率。

接下来，在日本特开2005-316111号公报中表示有：将抗反射膜形成为埋入整个微透镜，并使微透镜的顶点上的膜厚为0.2～0.5μm。该公报还记载有：为了得到抗反射膜表面的良好平坦性，增大膜厚。然而，存在有由于抗反射膜本身的光吸收，入射到光电二极管的光量随着膜厚增大而减少，从而使感光度、信噪比(S/N比)等特性产生劣化的问题。

因此，本发明的目的在于：提供一种抑制由抗反射膜本身的光吸收而造成的特性劣化的固体摄像装置、和能够以高成品率制造该固体摄像装置的制造方法。