[发明专利]一种酚醛清漆树脂、其制备方法以及含有该树脂的光刻胶组合物有效
申请号: | 200810146640.8 | 申请日: | 2008-09-03 |
公开(公告)号: | CN101343343A | 公开(公告)日: | 2009-01-14 |
发明(设计)人: | 刘启升;杨遇春;牛辉楠;吴君丽 | 申请(专利权)人: | 深圳市容大电子材料有限公司 |
主分类号: | C08G8/04 | 分类号: | C08G8/04;G03F7/021;G03F7/00;H05K3/06 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟守期;唐铁军 |
地址: | 518103广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酚醛 清漆 树脂 制备 方法 以及 含有 光刻 组合 | ||
1.一种酚醛清漆树脂,该树脂通过甲醛和含有两个醛基的化合物的混合物与一种或多种酚化合物进行缩合反应制得,其特征在于所述含有两个醛基的化合物的用量不超过甲醛重量的30%。
2.权利要求1的酚醛清漆树脂,其特征在于醛类与酚类的摩尔比在1-3之间。
3.一种制备权利要求1的酚醛清漆树脂的方法,其特征在于使甲醛和含有两个醛基的化合物的混合物与一种或多种酚化合物进行缩合反应,且所述含有两个醛基的化合物的用量不超过甲醛重量的30%。
4.权利要求3的方法,其特征在于醛类与酚类的摩尔比在1-3之间。
5.一种光刻胶组合物,含有重氮类感光性化合物和有机溶剂,其特征在于还含有权利要求1-2之一所述的酚醛清漆树脂。
6.权利要求5所述的光刻胶组合物,其中以所述光刻胶组合物总重量计,各组分含量为:
(a)酚醛清漆树脂的含量为5-30重量%;
(b)重氮类感光性化合物的含量为2-10重量%;
(c)有机溶剂的含量为60-90重量%。
7.一种在基板上形成电路的方法,包括以下步骤:
将权利要求5至6中任一项所述的光刻胶组合物涂敷在基板上;
将经过上述涂敷的基板进行前烘处理或使其自干;
使用掩膜将经过前烘处理或自干的基板曝光,然后将经过曝光的基板进行显影;
将显影后的基板进行后烘处理;
对经过上述处理的基板进行蚀刻;
剥离掉基板上的光刻胶组合物涂层。
8.一种使用权利要求7所述方法制造的电路元件。
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