[发明专利]有机电致发光器件和其制造方法

权利要求书

1.一种制造有机电致发光器件的方法，该方法包括下述步骤：

在基片上形成至少具有第一电极层、有机光发射层和第二电极层的电致发光元件；和

提供至少SiH₄气体和N₂气，并调节SiH₄气体的流率和所提供的电能，从而利用等离子体CVD方法，以等于或高于300纳米/分钟但等于或低于600纳米/分钟的淀积速率，在所述电致发光元件的表面上，形成由Si和硅的氮化物构成的密封薄膜以覆盖该电致发光元件。

2.如权利要求1所述的制造有机电致发光器件的方法，其中，按照NH₃气流率与SiH₄气流率之比设定为等于或高于0.0但等于或低于0.2的比率，提供NH₃气体，以利用等离子体CVD方法形成密封薄膜。

3.如权利要求1所述的制造有机电致发光器件的方法，其中将聚硅氮烷施用于密封薄膜的表面，并使之经受烘烤处理，以形成由SiO₂构成的第二密封薄膜。

4.如权利要求3所述的制造有机电致发光器件的方法，其中通过旋涂法、浸染法、流动法、辊式涂布法和丝网印法中的任何一种方法，施用聚硅氮烷。

5.如权利要求3所述的制造有机电致发光器件的方法，其中聚硅氮烷处于半干燥状态。