[发明专利]对准标记形成装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于形成在基板的两面上形成的图案的定位用对准标记的对准标记形成装置。

背景技术

例如在专利文献1中公开了如下内容：当在多层基板之间定位图案时，利用贯穿孔、被印刷的图案、凹部等。在此，如专利文献1所记载的那样，为了进行多层基板表面的图案的定位，能够利用贯穿孔、被印刷的图案、凹部等，但为了将在基板的两面上形成的图案定位，需要利用这些之中的贯穿孔。

专利文献1：国际公开WO02/039793

然而，根据基板的不同，存在不适于形成贯穿孔的情况。在这种情况下，产生不能进行在基板的两面上形成的图案的定位的问题。而且，即使是能够形成贯穿孔的基板，也存在如下的问题，即，为了形成贯穿孔需要使用钻孔机等加工装置，从而制造工序变得复杂。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而作出的，其目的在于提供一种对准标记形成装置，其结构简单，在不使用贯穿孔的情况下，能够进行在基板的两面上形成的图案的定位。

第一技术方案所述的发明是一种对准标记形成装置，用于形成定位用对准标记，该定位用对准标记是在基板的两面上形成的图案的定位用对准标记，其特征在于，具有：工作台，其用于装载基板；定位构件，其用于将所述工作台上所装载的基板定位；多个对准标记形成部，其分别在装载于所述工作台上的基板的非有效区域中的该基板的表面侧和背面侧且在同轴上形成对准标记。

第二技术方案所述的发明如第一技术方案所述的发明，所述各对准标记形成部具有如下的结构，即，在装载于所述工作台上的基板的上下方分别配设有曝光部，所述曝光部具有：光源，其用于射出能够在涂敷于所述基板的光致抗蚀剂上形成像的光；掩模，其具有与所述定位用对准标记相对应的图案；光学系统，其用于将所述掩模的图案投影到所述基板上。

第三技术方案所述的发明如第二技术方案所述的发明，具有移动机构，该移动机构使所述上下一对曝光部中在装载于所述工作台上的基板的上方配设的曝光部升降。

第四技术方案所述的发明如第三技术方案所述的发明，具有传感器，该传感器用于测定装载于所述工作台上的基板的表面的高度位置，所述移动机构基于所述传感器的输出使装载于所述工作台上的基板的上方所配设的曝光部升降。

第五技术方案所述的发明如第一技术方案所述的发明，所述各对准标记形成部用于形成作为对准标记的冲痕，而且具有冲痕形成部，所述冲痕形成部包括：一对冲痕形成销，其分别配设在装载于所述工作台上的基板的非有效区域中的该基板的表面侧和背面侧且在同轴上；移动机构，其使一对冲痕形成销中的至少一个移动，以便由该一对冲痕形成销夹持基板。

第六技术方案所述的发明如第五技术方案所述的发明，所述冲痕形成部具有：作为冲痕形成销的固定销，其位于在所述工作台上装载的基板的下面侧，并固定在所述工作台上；作为冲痕形成销的升降销，其位于在所述工作台上装载的基板的上面侧，并以能够升降的方式配设；驱动装置，其用于驱动所述升降销升降。

第七技术方案所述的发明如第六技术方案所述的发明，具有：配重构件，其在所述升降销的上方能够升降；配重构件落下机构，其在使所述配重构件上升之后，落下至所述升降销上。

第八技术方案所述的发明如第六技术方案所述的发明，在所述固定销以及升降销的前端形成冲痕部，所述冲痕部具有圆柱形的形状，并且在其内部形成有截面为圆形的空心部。

第九技术方案所述的发明如第八技术方案所述的发明，所述冲痕部中的空心部与排气机构连结。

第十技术方案所述的发明如第一技术方案所述的发明，所述各对准标记形成部具有将印模和印模部分别配置在装载于所述工作台上的基板的上下方的结构，所述印模用于在所述基板上转印对准标记，所述印模部使所述印模在转印位置与退避位置之间进行升降，所述转印位置是所述印模与装载于所述工作台上的基板的表面或背面相抵接的位置，所述退避位置是所述印模从装载于所述工作台上的基板的表面或背面远离的位置。

第十一技术方案所述的发明如第一技术方案所述的发明，所述各对准标记形成部具有将喷墨头部分别配设在装载于所述工作台上的基板的上下方的结构，所述喷墨头部用于在所述基板上转印对准标记。

第十二技术方案所述的发明如第十一技术方案所述的发明，具有移动机构，该移动机构使所述上下一对喷墨头部中配设在所述工作台上所装载的基板的上方的喷墨头部进行升降。