[发明专利]头悬架、负载杆、负载杆的制造方法和工件加工方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于计算机外部存储设备的盘驱动器的头悬架、头悬架的 负载杆、负载杆的制造方法和工件加工方法。

背景技术

例如磁盘驱动器和光盘驱动器的盘驱动器被广泛用作计算机的外部 存储设备，磁盘驱动器或硬盘驱动器(HDD)使用头悬架支撑滑块对磁 盘驱动器中的磁盘写入数据或读取数据。

头悬架包括基板，负载杆，和附接到负载杆的弯曲部分。负载杆带 有凹窝，以向滑块加载并可移动地支撑滑块。该凹窝具有球形表面并且 通过对负载杆加压形成。当硬盘驱动器中的盘旋转时，滑块浮在磁盘上 并随着支撑滑块的凹窝摇摆，这个结构保证了滑块相对于盘的流畅运动。

这就需要尽可能精确地抛光凹窝的球形表面。

为了满足这个需要，本发明的申请人在日本未审查的公开专利申请 №2006-192536中提出了一项用来压制凹窝的凹窝模的凹入表面加工技 术。这项技术使用了用于将水喷射到凹窝模的凹入表面的喷嘴和用于供 给微小颗粒以冲击凹入表面的微粒进料器。微小颗粒随同水流被喷射， 以将凹入表面抛光成为镜面。

为了使喷射水流完全冲击凹入表面，必须可移动地支撑凹窝模。喷 射水流的速度设定在200m/sec至1000m/sec范围内，微小颗粒的直径在 6nm至100nm范围内，以抑制摩擦系数的波动。

这项相关技术将凹陷模的表面抛光成为镜面，因此利用凹窝模所形 成的凹窝可具有平滑的表面。即，此项相关技术试图间接地改进三维物 体(凹窝)的表面加工精度。

发明内容

本发明的目的是直接(不是间接)改进三维物体(例如凹窝)的表面抛光 精度。

为达到这个目的，本发明的一个方面是提供一种工件加工方法。本方法包 括准备平板作为工件，用激光束照射工件的要形成功能部件的那部分表面，以 在被照射部分形成改进层(modified layer)，以及在改进部分实行塑性加工， 以形成功能部件。

本发明的这方面降低了功能部件的表面粗糙度，且使得功能部件的表面均 匀平滑。即，本发明直接改进了功能部件的表面加工精度。

根据本发明的另一方面，利用激光束熔化和软化工件的部分表面以形成 改进层，并且塑性加工包括锻造和压制已熔化和软化的部分。

本发明的这方面确定地降低了功能部件的表面粗糙度，使得功能部件的表 面均匀平滑。

根据本发明的又一方面，功能部件具有凸起的曲线表面，并且作为凹陷支 撑滑块，使得滑块可沿预定方向移动，以及舌片，其被沿着读写装置的斜块被 引导。

本发明的这方面降低了凹窝和舌片的表面粗糙度，使得凹窝和舌片的表面 均匀平滑。凹窝和舌片在功能上都是负载杆重要的部分。

根据本发明的再一方面，提供负载杆。该负载杆包括平板体和具有凸起的 曲线表面作为功能部件的凹窝和/或舌片。连续表面覆盖负载杆和功能部件本 体。改进层由连续表面上的功能部件表面朝向其内侧形成。功能部件的表面平 滑，并且其表面粗糙度低于同一连续表面上的本体的表面粗糙度。

根据本发明的这方面，在负载杆上形成的功能部件降低了表面粗糙度。

附图说明

图1是说明根据本发明一个实施例的工件加工方法的视图；

图2(1)、2(2)和2(3)分别是根据本发明一个实施例的头悬架的正视图、侧 视图和后视图；

图3(1)是根据本发明一个实施例的负载杆(处理前)的正视图；

图3(2)和3(3)分别是图3(1)的负载杆(处理后)的正视图和侧视图；

图4是说明根据本发明一个实施例的加工负载杆的方法的视图；

图5(1)、5(2)和5(3)是说明利用金属模具形成舌片过程的视图；

图6(1)、6(2)和6(3)是说明利用金属模具形成凹窝过程的视图；

图7(1)是显示根据参考例处理的舌片的表面粗糙度的激光显微照片；

图7(2)是显示根据本发明的实施例处理的舌片的表面粗糙度的激光显微 照片；

图8(1)是显示根据参考例处理的凹窝的表面粗糙度的激光显微照片；和

图8(2)是显示根据本发明的实施例处理的凹窝的表面粗糙度的激光显微 照片。

具体实施方式