[发明专利]微型流体系统用支撑单元及其制造方法

权利要求书

1.一种微型流体系统用支撑单元，其特征在于：具备：

第一支撑体；

设在该第一支撑体的表面的第一粘合剂层；以及

在该第一粘合剂层的表面敷设成任意形状的作为微型流体系统的流路层来发挥功能的、至少两个等长的中空细丝。

2.根据权利要求1所述的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，前述等长的中空细丝的组有两组以上。

3.根据权利要求1或2所述的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，前述中空细丝的一部分从前述第一支撑体露出。

4.根据权利要求1至3中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，前述中空细丝的端部从前述第一支撑体露出。

5.根据权利要求1～4中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，在前述中空细丝的至少一个的一部分形成有金属膜。

6.根据权利要求1～5中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，前述中空细丝的至少一个的一部分，具备用光透过性材料形成的光透过部。

7.根据权利要求1～6中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，前述中空细丝的至少一个的一部分有光透过性。

8.根据权利要求1～7中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，前述中空细丝的敷设形状是通过前述第一粘合剂层来固定。

9.根据权利要求1～8中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，在前述中空细丝周围有空隙。

10.根据权利要求1～9中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，在前述第一支撑体的表面形成有端子或电路。

11.根据权利要求1～10中的任一项的微型流体系统用支撑单元，其特征在于，在前述第一支撑体的表面安装有选自微型机械、发热组件、压电组件、感应器、电子零件、光部件中的至少一种。