[发明专利]一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法

权利要求书

1、一种利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法，其特征在于，将一束飞秒激光经显微物镜聚焦在硬质材料表面，通过飞秒激光对材料的刻蚀以及三维精密移动平台配合，实现微纳压印模版的制备，具体步骤如下：

1)选取制作微纳压印模版的硬质材料；

2)将用于制作微纳压印模版的硬质材料固定在三维精密移动平台上，选用脉冲宽度为30～150fs、波长为325～1200nm的超短脉冲激光，经一个显微物镜聚焦到材料表面；

3)超短脉冲激光单脉冲能量10nJ～5mJ、脉冲重复频率10Hz～100kHz、脉冲宽度30～150fs、三维精密移动平台移动速率0.1μm/s～0.6mm/s，使激光聚焦在硬质材料表面，加工微纳压印模版；

4)在加工出微纳压印模版的基本形貌后，采取第二次形貌重复扫描的方法，超短脉冲激光单脉冲能量10nJ～5μJ、脉冲重复频率10Hz～100kHz、脉冲宽度30～150fs，以及三维精密移动平台移动速率0.1μm/s～100μm/s，以控制微纳压印模版的形貌的精度与表面粗糙度，制得微纳压印模版。

2、根据权利要求1所述的利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法，其特征在于，所述的微纳压印模版的硬质材料为石英玻璃、硅、殷钢或不锈钢。

3、根据权利要求1所述的利用飞秒激光制备微纳压印模版的方法，其特征在于，所述的显微物镜数值孔径(N.A)为0.15～0.95。