[发明专利]基于薄膜温差电材料的微型温差电器件组装系统及方法有效
申请号: | 200810153632.6 | 申请日: | 2008-11-28 |
公开(公告)号: | CN101420011A | 公开(公告)日: | 2009-04-29 |
发明(设计)人: | 王为;李菲晖;李晋楼 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | H01L35/34 | 分类号: | H01L35/34 |
代理公司: | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人: | 王 丽 |
地址: | 300072天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 薄膜 温差 材料 微型 器件 组装 系统 方法 | ||
1.一种基于薄膜温差电材料的微型温差电器件组装系统,由数控平移装置、对准装置、微型温差电器件固定装置、系统支撑架和电源组成;其特征是数控平移装置用于实现待组装温差电薄膜的精确水平移位,对准装置用于实现微型温差电器件和待组装温差电薄膜的精确定位,微型温差电器件固定装置用于固定微型温差电器件并实现其上、下移动,系统支撑架用于固定对准装置、数控平移装置、微型温差电器件固定装置并实现其在三维空间的构架,电源为对准装置和微型温差电器件固定装置提供电能。
2.如权利要求1所述的基于薄膜温差电材料的微型温差电器件组装系统,其特征是所述的数控平移装置固定在系统支撑架的底部,由位移台控制箱(1)、高精度导轨(2)及导轨滑块(3)组成,通过位移台控制箱(1)设置位移方向、位移距离及相关位移参数,实现导轨滑块(19)在高精度导轨上的精确水平移动。
3.如权利要求1所述的基于薄膜温差电材料的微型温差电器件组装系统,其特征是所述的对准装置是由载物台(4)、载物台离合器(5)、精密升降台(6)、Z轴位移调节旋钮(7)、精密旋转台(8)、旋转角度调节旋钮(9)、精密平移台(10)、精密平移台X轴位移调节旋钮(11)、精密平移台Y轴位移调节旋钮(12)、基座(13)、显微镜(14)、图形掩膜板(15)组成;待组装温差电薄膜基座(16)置于载物台(4)之上,并通过载物台离合器(5)使待组装温差电薄膜基座吸附在载物台上;载物台、载物台离合器、精密升降台、精密旋转台(8)、精密平移台(10)和基座(13)依次相连并通过基座固定在导轨滑块(3)上;通过数控平移装置实现载物台及吸附于其上的待组装温差电薄膜基座在微型温差电器件固定装置和图形掩膜板之间的精确移动;通过调节Z轴位移调节旋钮(7)、旋转角度调节旋钮(9)、精密平移台X轴位移调节旋钮(11)、精密平移台Y轴位移调节旋钮(12),借助于显微镜(14),实现位于待组装温差电薄膜基座(16)之上的待组装温差电薄膜与图形掩膜板(15)之间的精确对准。
4.如权利要求1所述的基于薄膜温差电材料的微型温差电器件组装系统,其特征是所述微型温差电器件固定装置由微型温差电器件离合器(17)、微型温差电器件离合器支架(18)、精密微型导轨(19)、精密微型导轨滑块(20)、精密微型导轨支撑架(21)构成;微型温差电器件基座(22)牢固吸附在微型温差电器件离合器下方,微型温差电器件离合器通过微型温差电器件离合器支架(18)与精密微型导轨滑块(20)相连,精密微型导轨(19)通过精密微型导轨支撑架(21)固定在系统支撑架(23)之上,其位置处于高精度导轨(2)的正上方;借助于精密微型导轨滑块在精密微型导轨上的上、下滑动,实现微型温差电器件基座(22)在高精度导轨(2)正上方的上、下移动。
5.如权利要求1所述的基于薄膜温差电材料的微型温差电器件组装系统,其特征是所述对准装置和微型温差电器件固定装置分别通过微型温差电器件对准装置电源线25和固定装置电源线24连接到电源26,通过调节电源(26)上的输出控制钮(27)和输出控制钮(28),分别控制微型温差电器件基座(22)与微型温差电器件离合器(17)以及待组装温差电薄膜基座(16)与载物台离合器(5)之间吸附力的大小以及其间的分离或者吸附。
6.权利要求1所述的基于薄膜温差电材料的微型温差电器件的组装方法,其特征是首先将一个背面贴有对准掩膜的微型温差电器件基座(22)背面朝上放置在载物台(4)上,开启电源(26),调节输出控制钮(27)使其牢固吸附于载物台上;开启位移台控制箱(1)的电源,设定所确定的载物台随导轨滑块(3)在高精度导轨(2)上的往、复位移量,启动导轨滑块(3)使载物台随之精确位移至图形掩膜板(15)之下;之后调节Z轴位移调节旋钮(7)、旋转角度调节旋钮(9)、精密平移台X轴位移调节旋钮(11)、精密平移台Y轴位移调节旋钮(12),使图形掩膜板(15)与固定在微型温差电器件基座(22)背面的对准掩膜精确对准;启动导轨滑块(3)使载物台随之精确位移至微型温差电器件离合器(17)之下,下移微型温差电器件离合器(17)使背面贴有对准掩膜的微型温差电器件基座与微型温差电器件离合器紧密接触,调节电源(26)的输出控制钮(28)使微型温差电器件基座牢固吸附于微型温差电器件离合器上,调节电源的输出控制钮(27)解除载物台(4)对背面贴有对准掩膜的微型温差电器件基座的吸附;上移微型温差电器件离合器,使微型温差电器件基座与载物台分离;此后,继续将表面通过粘合剂固定着待组装温差电薄膜的待组装温差电薄膜基座(29)置于载物台上,调节电源的输出控制钮使其吸附在载物台之上,启动导轨滑块使待组装温差电薄膜随载物台精确位移至图形掩膜板(15)之下,借助于显微镜,通过调节Z轴位移调节旋钮(7)、旋转角度调节旋钮(9)、精密平移台X轴位移调节旋钮(11)、精密平移台Y轴位移调节旋钮(12),实现图形掩膜板(15)与粘附于待组装温差电薄膜基座(16)之上的待组装温差电薄膜之间的精确对准;之后启动数控平移装置,使待组装温差电薄膜随载物台精确位移至微型温差电器件基座之下;之后移动微型温差电器件离合器,使吸附于其下的微型温差电器件基座与固定于待组装温差电薄膜基座之上的待组装温差电薄膜之间紧密粘合为一体,完成第一层微型温差电器件的组装;之后取下待组装温差电薄膜基座,在其上通过粘合剂固定另一待组装温差电薄膜,将其重新放置在载物台上,重复上述过程,最终完成微型温差电器件的组装。
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