[发明专利]具有气体缓冲均匀功能的离子源

权利要求书

1.一种具有气体缓冲均匀功能的离子源，包括气源、电弧室(1)、用于连接所述的气源及电弧室的导管(2)，所述的电弧室(1)包括设置有灯丝的用于将气体电离的电弧腔(12)，其特征在于：所述的电弧室的气体入口处的内部设置有气体容腔(11)，所述的气体容腔(11)的进气口与所述的导管(2)连通、所述的气体容腔(11)的出气口与所述的电弧室(1)连通；

所述的导管(2)上还设置有缓冲球室(3)，所述的缓冲球室(3)包括进气端和出气端，所述的进气端及出气端的至少一个上设置有莲蓬分流器(37)，所述的莲蓬分流器(37)呈自根部向梢部直径逐渐增大的莲蓬状，所述的莲蓬分流器(37)的梢部端面朝向所述的缓冲球室(3)的内部，并且该梢部端面上规则开设有多个气孔。

2.根据权利要求1所述的具有气体缓冲均匀功能的离子源，其特征在于：所述的电弧腔(12)的电弧腔侧板(13)的内表面在垂直于电弧腔侧板(13)的延伸方向的平面上的投影为弧形。

3.根据权利要求2所述的具有气体缓冲均匀功能的离子源，其特征在于：所述的电弧腔侧板(13)上开设有多个气体导入孔(14)，所述的气体导入孔(14)为沿着所述的电弧腔侧板(13)的延伸方向均匀开设的两排。

4.根据权利要求1所述的具有气体缓冲均匀功能的离子源，其特征在于：所述的缓冲球室(3)的内部还设置有栅板缓流层(35)，所述的栅板缓流层(35)包括多层栅板，每层栅板上均开设有能够使得栅板缓流层(35)中的气流按照螺旋线方向流动的气孔(37)。

5.根据权利要求4所述的具有气体缓冲均匀功能的离子源，其特征在于：所述的栅板缓流层(35)包括相平行设置的第一栅板(31)、第二栅板(32)、第三栅板(33)、第四栅板(34)，其中第一栅板(31)及第三栅板(33)上的气孔的轴心线方向相平行，第二栅板(32)及第四栅板(34)上的气孔的轴心线方向相平行并且与第一栅板(31)上的气孔的轴心线方向不相平行。