[发明专利]一种电磁加热微成形方法及其装置

说明书

技术领域

本发明涉及塑性成形领域，特指一种磁性工件且不可通过热传递方式进行加热的微拉伸成形过程中的电磁加热方法及其控制装置，主要应用于超薄板的微塑性成形领域，也适用于宏观塑性成形领域。使用本方法及控制装置，不仅可以安全、快速的对微小工件进行加热，而且可以根据成形性能的需要，及时改变加热温度，提高塑性成形性能。

发明背景

随着MEMS的飞速发展，市场对微器件的需求越来越大，同时对微器件的加工工艺和加工质量等方面提出了新的要求。随着微器件尺寸的缩小，晶粒尺寸的大小、体表面积比等因素对微器件成形的影响越来越大，因此尺寸效应成为微成形研究的主要对象。在微成形过程中，不仅要考虑尺寸效应，而且其他宏观的工艺参数和工艺也需要调整。在各影响因素中，温度对成形性能的影响比较大。一般来讲，工件加热后其塑性性能要比常温条件下的塑性性能优越；由于加热会增加工件的内应力，所以当加热温度过高时，工件在成形后恢复到常温时，会因内应力过大导致成形工件的扭曲变形，严重影响工件的成形质量。在微拉深成形过程中，需要对工件进行加热以改善材料的流动，避免破裂，提高工件的成形性能。因此，如何对微塑性成形中的微小工件进行加热成为一个急需解决的问题。

在微电子工业和微机电领域中，为了提高材料的塑性成形性能，温热成形方法的应用变的越来越广泛。一般而言，对物体加热的方式有两种：一种是对物体的直接加热；另一种是通过热传递的方式对物体进行间接加热。对微拉深温热成形而言，其加热的方式比较多，其中常用的有激光加热、红外线加热、电阻加热等，这些加热方式中有些既可以直接对物体进行加热也可以间接对物体加热。在微成形中，常通过激光加热的方法对微小工件直接进行加热。但激光加热系统不但价格昂贵，维护费用高，而且操作比较繁琐，容易因操作不当而损坏仪器。红外线加热装置不但价格昂贵、而且还存在加热速度相对缓慢，被加热物体的材质受到一定的限制等缺点。电阻加热虽然比较便宜，但由于需要通过电阻丝加热或电阻棒加热，电阻丝容易氧化断裂，而电阻棒需要有足够大的空间才能插入，也不适合微器件的加热。因此，如何经济、有效地对微塑性成形中的工件进行加热成为一个急需解决的问题。

国内外利用电磁加热的方法很多，涉及的领域也很广，但主要应用于宏观领域，很难看到将其应用到微塑性成形领域的报道。George C.Virgin等人申请的专利：Electromagneticinduction air heater(电磁感应气体加热器)，美国专利号：4503305。报道了一种利用电磁感应原理，加热磁性金属，然后通过热量传递的方式加热空气的方法。该装置中的磁性金属被设置成网格状，体积比较庞大不太适合微型化，且各电磁感应线圈彼此连接而不是相互独立，容易因为某一线圈的短路导致整个装置无法使用。

中国专利号CN1362321A。介绍了一种硫化机电磁加热方法及装置。该装置通过电磁感应原理，直接对模具进行加热，然后通过热传递的方法对模具内的橡胶进行硫化。该装置的缺点是不能对非磁性工件进行加热，对不能直接进行热传递的工件无法进行加热(如拉伸实验中的非磁性工件)应用范围受到一定的限制。

发明内容：

本发明的目的是提供一种通过电磁感应原理对不可通过物体间直接接触进行热传递的磁性工件进行电磁加热的方法及其装置。

本发明所采用的技术方案是：

一种电磁加热微成形方法，适用于不可通过物体间直接接触进行热传递的磁性工件的微塑性成形，其特征在于：磁性工件悬置于磁芯上方，将磁芯置于由交变电流产生的交变磁场中，磁场中的磁力线通过磁性工件产生回路，并在磁性工件内形成许多涡旋感应电流，该涡流通过克服磁性工件的电阻流动时完成电能向热能的转换，使磁性工件的温度迅速升高，磁性工件进行加热，由设置在磁芯上的温度检测元件检测加热温度，并将信号输入电磁加热温度控制装置，对电磁加热温度进行控制。